轴承表面制备TiN薄膜工艺与性能试验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 航空轴承的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.1 航空轴承材料的发展 | 第14-15页 |
| 1.2.2 航空轴承的失效分析 | 第15页 |
| 1.2.3 轴承钢表面强化方法 | 第15-17页 |
| 1.3 物理气相沉积(PVD) | 第17-20页 |
| 1.3.1 离子镀膜 | 第18-19页 |
| 1.3.2 溅射镀膜 | 第19-20页 |
| 1.4 TiN薄膜的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.4.1 TiN薄膜的性能 | 第20页 |
| 1.4.2 TiN薄膜性能的影响因素 | 第20-21页 |
| 1.4.3 TiN薄膜的研究方向 | 第21-22页 |
| 1.5 课题的研究目的、意义和内容 | 第22-25页 |
| 1.5.1 研究目标 | 第22页 |
| 1.5.2 研究意义 | 第22-23页 |
| 1.5.3 研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 实验设备与检测方法 | 第25-36页 |
| 2.1 实验材料 | 第25页 |
| 2.2 镀膜设备 | 第25-27页 |
| 2.2.1 LAB-600A型离子镀膜设备 | 第25-27页 |
| 2.3 实验方案 | 第27-28页 |
| 2.3.1 实验设计 | 第27-28页 |
| 2.3.2 检测分析 | 第28页 |
| 2.4 检测方法 | 第28-36页 |
| 2.4.1 显微硬度 | 第28-31页 |
| 2.4.2 薄膜厚度 | 第31-32页 |
| 2.4.3 膜基结合力 | 第32-34页 |
| 2.4.4 摩擦磨损 | 第34-35页 |
| 2.4.5 薄膜成分、结构 | 第35-36页 |
| 第三章 M50钢表面制备TiN薄膜工艺优化 | 第36-51页 |
| 3.1 试验材料与方法 | 第36页 |
| 3.1.1 试验目的 | 第36页 |
| 3.1.2 试样准备与处理 | 第36页 |
| 3.2 正交试验 | 第36-42页 |
| 3.2.1 试验因素选择 | 第36-38页 |
| 3.2.2 试验结果 | 第38-39页 |
| 3.2.3 试验结果极差分析 | 第39-41页 |
| 3.2.4 多指标正交分析 | 第41-42页 |
| 3.3 优化试验与分析 | 第42-49页 |
| 3.3.1 试验 | 第42-43页 |
| 3.3.2 试验结果与分析 | 第43-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 TiN离子镀膜设备转架系统的改进设计 | 第51-61页 |
| 4.1 镀膜转架的改进设计目的与思路 | 第51页 |
| 4.2 行星轮系设计与分析 | 第51-53页 |
| 4.2.1 行星轮系的组成 | 第51-52页 |
| 4.2.2 行星轮系传动比的计算 | 第52页 |
| 4.2.3 镀膜转架中行星轮系的设计 | 第52-53页 |
| 4.3 针对轴承工装的镀膜转架立柱改进设计 | 第53-55页 |
| 4.4 镀膜转架系统运动仿真分析 | 第55-59页 |
| 4.4.1 Adams软件简介 | 第55页 |
| 4.4.2 镀膜转架建模方法 | 第55-57页 |
| 4.4.3 转架模型的约束及驱动定义 | 第57页 |
| 4.4.4 运动仿真结果分析 | 第57-59页 |
| 4.5 TiN薄膜厚度均匀性分析 | 第59-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 某型航空轴承表面TiN薄膜制备与试验验证 | 第61-66页 |
| 5.1 轴承工装的设计 | 第61-63页 |
| 5.1.1 轴承镀膜的思路及要求 | 第61页 |
| 5.1.2 工装保护设计 | 第61-63页 |
| 5.2 TiN薄膜制备 | 第63-64页 |
| 5.2.1 镀膜前处理 | 第63页 |
| 5.2.2 镀膜工艺 | 第63-64页 |
| 5.3 轴承镀膜与测试结果 | 第64页 |
| 5.4 镀膜轴承台架试验 | 第64-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-67页 |
| 6.1 总结 | 第66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文和研究成果 | 第72页 |
