| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·纳米Ti O2材料的概述 | 第9-17页 |
| ·纳米Ti O2材料的概述 | 第9-13页 |
| ·纳米Ti O2气敏传感器的概述 | 第13-14页 |
| ·纳米Ti O2气敏传感器国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·纳米Ti O2气敏传感器存在的主要问题 | 第17页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 实验原理与测试仪器 | 第19-27页 |
| ·制备方法 | 第19-22页 |
| ·化学气相沉积 | 第19页 |
| ·溅射法 | 第19-20页 |
| ·物理气相淀积 | 第20-21页 |
| ·分子束外延生长 | 第21页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第21-22页 |
| ·测试方法 | 第22-27页 |
| ·X射线衍射 | 第22-23页 |
| ·场发射扫描电镜 | 第23-24页 |
| ·气敏元件测试系统 | 第24-25页 |
| ·台阶仪 | 第25-27页 |
| 第三章 SnO_2掺杂TiO_2厚膜的溶胶-凝胶法制备 | 第27-35页 |
| ·SnO_2掺杂TiO_2材料的掺杂量 | 第27页 |
| ·TiO_2气敏材料的制备 | 第27-33页 |
| ·TiO_2胶体的制备及其影响因素 | 第27-28页 |
| ·Ti(OH)4 胶体的制备原理 | 第28页 |
| ·Sol-Gel工艺条件的分析 | 第28-32页 |
| ·SnO_2掺杂TiO_2溶胶的制备 | 第32-33页 |
| ·SnO_2掺杂TiO_2厚膜型气敏元件的制备 | 第33-35页 |
| 第四章 SnO_2掺杂对TiO_2厚膜气敏性能的影响 | 第35-47页 |
| ·结构和形貌 | 第35-39页 |
| ·XRD分析 | 第35-37页 |
| ·SEM分析 | 第37-38页 |
| ·台阶仪分析 | 第38-39页 |
| ·气敏性能 | 第39-42页 |
| ·掺杂量对灵敏度的影响 | 第39页 |
| ·气敏元件的选择性 | 第39-40页 |
| ·退火温度对灵敏度的影响 | 第40-41页 |
| ·工作温度对灵敏度的影响 | 第41页 |
| ·气体浓度对对其灵敏度的影响 | 第41-42页 |
| ·气敏机理 | 第42-47页 |
| ·气敏机理概述 | 第42-44页 |
| ·SnO_2掺杂TiO_2的气敏机理分析 | 第44-47页 |
| 第五章 结论 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55页 |