基于丢失物缺陷的开路关键面积减小方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·集成电路成品率 | 第8-9页 |
| ·论文内容安排 | 第9-11页 |
| 第二章 工艺缺陷研究 | 第11-21页 |
| ·缺陷类型 | 第11-14页 |
| ·冗余物缺陷 | 第11-13页 |
| ·丢失物缺陷 | 第13-14页 |
| ·氧化物针孔缺陷和结泄漏缺陷 | 第14页 |
| ·缺陷模型 | 第14-17页 |
| ·缺陷空间分布模型 | 第14-15页 |
| ·缺陷粒径分布模型 | 第15-17页 |
| ·缺陷轮廓模型 | 第17页 |
| ·关键面积概念与分类 | 第17-19页 |
| ·关键面积的概念 | 第17-18页 |
| ·关键面积的分类 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 第三章 数学形态学基本理论 | 第21-27页 |
| ·二值腐蚀和膨胀 | 第21-23页 |
| ·结构元素 | 第21-22页 |
| ·基本概念 | 第22-23页 |
| ·开和闭运算 | 第23-25页 |
| ·开运算 | 第24页 |
| ·闭运算 | 第24-25页 |
| ·击中击不中变换 | 第25-26页 |
| ·细化 | 第26-27页 |
| 第四章 关键面积特征表述和开路关键面积优化算法 | 第27-47页 |
| ·关键面积的提取方法 | 第27-28页 |
| ·本文用到的开路关键面积提取方法 | 第28-29页 |
| ·开路关键面积区域特征描述 | 第29-37页 |
| ·图像边缘提取及边缘链码生成 | 第29-31页 |
| ·开路关键面积区域的尺寸测量与形状分析 | 第31-32页 |
| ·实验结果与结论 | 第32-37页 |
| ·基于产生开路关键面积区域的开路优化算法 | 第37-45页 |
| ·版图优化与成品率提升 | 第37页 |
| ·算法的提出 | 第37-42页 |
| ·算法的验证 | 第42-43页 |
| ·算法的进一步验证 | 第43-45页 |
| ·算法的时间复杂度 | 第45页 |
| ·开路关键面积的优化算法比较 | 第45-47页 |
| 第五章 开路灵敏度模型比较与应用 | 第47-61页 |
| ·开路灵敏度模型分析与优缺点 | 第47-50页 |
| ·基于单位芯片的开路灵敏度模型 | 第47-48页 |
| ·基于单位线网的开路灵敏度模型 | 第48页 |
| ·基于考虑线网周围空白空间的开路灵敏度模型 | 第48-49页 |
| ·基于版图基本信息的开路灵敏度模型 | 第49-50页 |
| ·开路灵敏度模型应用的比较 | 第50-56页 |
| ·开路灵敏度模型的待优化线网选取比较 | 第50-53页 |
| ·考虑缺陷粒径对灵敏度模型待优化线网选取影响 | 第53-56页 |
| ·开路线网优化算法与开路灵敏度模型的结合应用 | 第56-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 研究成果 | 第69-70页 |
