| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 图清单 | 第13-15页 |
| 表清单 | 第15-16页 |
| 注释表 | 第16-18页 |
| 第一章 引言 | 第18-31页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·互连材料 | 第18-24页 |
| ·传统工艺中铝 Al 材料的应用 | 第20-21页 |
| ·现代工艺中铜 Cu 材料的应用 | 第21-23页 |
| ·未来工艺中银 Ag 材料的应用 | 第23-24页 |
| ·薄膜的制备技术 | 第24-26页 |
| ·前驱体的发展与要求 | 第26-29页 |
| ·银（I）前驱体的发展 | 第26-27页 |
| ·前驱体的设计要求 | 第27-29页 |
| ·本文研究的内容 | 第29-31页 |
| 第二章 有机膦稳定的烷基取代磺酸银（I）配合物（前驱体）的合成、表征以及制备银互连材料的研究 | 第31-65页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·实验部分 | 第31-40页 |
| ·实验试剂 | 第31-32页 |
| ·实验仪器和装置 | 第32-34页 |
| ·试剂的纯化 | 第34页 |
| ·化合物 Ag_2CO_3的合成 | 第34页 |
| ·化合物 MeSO_3Ag 的合成 | 第34-35页 |
| ·化合物 CH_2(SO_3H)_2的合成 | 第35页 |
| ·化合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2的合成 | 第35页 |
| ·银配合物的合成及表征 | 第35-40页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·(PPh_3)_2（1a）的合成 | 第36-37页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·(PPh_3)_3（1b）的合成 | 第37页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·(PPh_3)_4（1c）的合成 | 第37页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·(PPh_3)_5（1d）的合成 | 第37页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·(PPh_3)_6（1e）的合成 | 第37-38页 |
| ·配合物{CH_2(SO_3)_2Ag_2·[P(OEt)_3]_2}_4（1f）的合成 | 第38页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·[P(OEt)_3]_4（1g）的合成 | 第38页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·[P(OEt)_3]_6（1h）的合成 | 第38-39页 |
| ·配合物{CH_2(SO_3)_2Ag_2·[P(OMe)_3]_2}_n（1i）的合成 | 第39页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·[P(OMe)_3]_4（1j）的合成 | 第39页 |
| ·配合物 CH_2(SO_3)_2Ag_2·[P(OMe)_3]_6（1k）的合成 | 第39页 |
| ·配合物[CH_3SO_3Ag P(OMe)_3]_4（1l）的合成 | 第39-40页 |
| ·配合物 CH_3SO_3Ag [P(OMe)_3]_2（1m）的合成 | 第40页 |
| ·MOCVD 薄膜生长实验 | 第40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-64页 |
| ·实验方案的选择 | 第40-41页 |
| ·配合物测试分析 | 第41-57页 |
| ·核磁共振 | 第41-42页 |
| ·红外光谱 | 第42-43页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第43-57页 |
| ·配合物热分析 | 第57-60页 |
| ·MOCVD 成膜实验分析 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第三章 路易斯碱稳定的丁二酰亚胺银（I）配合物（前驱体）的合成、表征以及制备银互连材料的研究 | 第65-83页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·实验部分 | 第65-70页 |
| ·实验试剂 | 第65-66页 |
| ·实验仪器和装置 | 第66-67页 |
| ·试剂的纯化 | 第67页 |
| ·银配合物的合成及表征 | 第67-70页 |
| ·配合物{[(MeO)_3P] AgNC_4H_4O_2}_2（2a）的合成 | 第68-69页 |
| ·配合物[(MeO)_3P]_2 AgNC_4H_4O_2（2b）的合成 | 第69页 |
| ·配合物[(EtO)_3P]_2 AgNC_4H_4O_2（2c）的合成 | 第69页 |
| ·配合物{[Ag(TMEDA)_2]+[Ag(NC_4H_4O_2)_2]-}（2d）的合成 | 第69页 |
| ·配合物{[(MeO)_3P] AgNC_4H_4O_2 (TMEDA)}（2e）的合成 | 第69-70页 |
| ·MOCVD 薄膜生长实验 | 第70页 |
| ·结果与讨论 | 第70-82页 |
| ·实验方案的选择 | 第70-71页 |
| ·配合物测试分析 | 第71-80页 |
| ·核磁共振 | 第71-72页 |
| ·红外光谱 | 第72-74页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第74-80页 |
| ·配合物热分析 | 第80页 |
| ·MOCVD 生长薄膜分析 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第四章 有机膦稳定的 N-乙酰基苯甲酰亚胺银（I）配合物（前驱体）的合成、表征以及制备银互连材料的研究 | 第83-100页 |
| ·引言 | 第83页 |
| ·实验部分 | 第83-89页 |
| ·实验试剂 | 第83-84页 |
| ·实验仪器和装置 | 第84-85页 |
| ·试剂的纯化 | 第85页 |
| ·N-乙酰基苯甲酰亚胺的合成 | 第85页 |
| ·N-乙酰基苯甲酰亚胺钠盐的合成 | 第85页 |
| ·银配合物的合成及表征 | 第85-88页 |
| ·配合物 Ph_3P AgNC_9H_8O_2（3a）的合成 | 第86-87页 |
| ·配合物(Ph_3P)_2 AgNC_9H_8O_2（3b）的合成 | 第87页 |
| ·配合物(Ph_3P)_3 AgNC_9H_8O_2（3c）的合成 | 第87页 |
| ·配合物(EtO)_3P AgNC_9H_8O_2（3d）的合成 | 第87-88页 |
| ·配合物[(EtO)_3P]_2 AgNC_9H_8O-2（3e）的合成 | 第88页 |
| ·配合物[(EtO)_3P]_3 AgNC_9H_8O_2（3f）的合成 | 第88页 |
| ·MOCVD 薄膜生长实验 | 第88-89页 |
| ·结果与讨论 | 第89-98页 |
| ·实验方案的选择 | 第89页 |
| ·配合物测试分析 | 第89-96页 |
| ·核磁共振 | 第90页 |
| ·红外光谱 | 第90-92页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第92-96页 |
| ·配合物热分析 | 第96-97页 |
| ·MOCVD 成膜实验分析 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-100页 |
| 第五章 有机膦稳定的 N-羟基丁二酰亚胺银（Ι）配合物（前驱体）的合成方法以及制备银互连材料的研究 | 第100-121页 |
| ·引言 | 第100页 |
| ·实验部分 | 第100-107页 |
| ·实验试剂 | 第100-101页 |
| ·实验仪器和装置 | 第101-102页 |
| ·试剂及药品的纯化 | 第102-103页 |
| ·N-羟基丁二酰亚胺的合成 | 第103页 |
| ·N-羟基丁二酰亚胺银的合成 | 第103页 |
| ·N-羟基丁二酰亚胺银配合物与二氯甲烷的反应 | 第103-104页 |
| ·银配合物的合成及表征 | 第104-106页 |
| ·配合物 Ph_3P AgO_3C_4H_4N（4a）的合成 | 第104-105页 |
| ·配合物(Ph_3P)_2 AgO_3C_4H_4N（4b）的合成 | 第105页 |
| ·配合物(EtO)_3P AgO_3C_4H_4N（4c）的合成 | 第105页 |
| ·配合物[(EtO)_3P]_2 AgO_3C_4H_4N（4d）的合成 | 第105-106页 |
| ·配合物[(MeO)_3P] AgO_3C_4H_4N（4e）的合成 | 第106页 |
| ·配合物[(MeO)_3P]_2 AgO_3C_4H_4N（4f）的合成 | 第106页 |
| ·MOCVD 薄膜生长实验 | 第106-107页 |
| ·结果与讨论 | 第107-119页 |
| ·实验方案的选择 | 第107-108页 |
| ·测试分析 | 第108-117页 |
| ·核磁共振 | 第108页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第108-117页 |
| ·配合物热分析 | 第117-118页 |
| ·MOCVD 成膜实验分析 | 第118-119页 |
| ·本章小结 | 第119-121页 |
| 第六章 总结与展望 | 第121-124页 |
| ·本文工作总结 | 第121-123页 |
| ·后续工作展望 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第136-140页 |
| 附录 核磁图谱和红外图谱 | 第140-164页 |
