用于微型驱动机构的非接触显微测速测振系统研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·微纳米技术概述 | 第8-9页 |
| ·微机电系统(MEMS)及应用 | 第9-13页 |
| ·微型驱动机构运动状态检测技术的研究发展现状 | 第13-14页 |
| ·本课题的研究内容和主要创新 | 第14-18页 |
| 第二章 MEMS运动状态检测技术及原理 | 第18-27页 |
| ·MEMS的运动特点及检测要求 | 第18-19页 |
| ·计算机微视觉测试技术原理及特点 | 第19-20页 |
| ·干涉测量方法 | 第20-22页 |
| ·激光多普勒测振技术 | 第22-24页 |
| ·其它检测技术 | 第24-27页 |
| 第三章 基于 CCD显微视频的测速测振新方法研究 | 第27-41页 |
| ·基于CCD显微视频的测速测振新方法概述 | 第27-28页 |
| ·微型驱动机构运动状态检测算法研究 | 第28-30页 |
| ·显微视频及序列图像的测速测振算法 | 第28-29页 |
| ·算法的性能与特点 | 第29-30页 |
| ·图像匹配 | 第30-35页 |
| ·图像匹配及关键要素 | 第30-31页 |
| ·图像匹配的常用算法 | 第31-32页 |
| ·M×N模板匹配新方法 | 第32-35页 |
| ·亚像素定位算法 | 第35-39页 |
| ·亚像素及其定位 | 第35-36页 |
| ·亚像素定位的常用算法 | 第36-37页 |
| ·二次曲面拟合的亚像素提取算法 | 第37-39页 |
| ·运动轨迹曲线的绘制方法 | 第39-41页 |
| 第四章 微型驱动机构的非接触显微测速测振系统研制 | 第41-59页 |
| ·系统整体设计 | 第41-43页 |
| ·CCD显微摄像光路 | 第43-46页 |
| ·CCD视频成像单元 | 第43-44页 |
| ·显微光路系统设计 | 第44-45页 |
| ·光学照明系统 | 第45-46页 |
| ·视频图像采集接口 | 第46-47页 |
| ·显微测速测振软件系统的研制 | 第47-59页 |
| ·软件总流程与主界面 | 第47-50页 |
| ·序列图像或显微视频的输入 | 第50-52页 |
| ·特征区域及匹配位置的确定 | 第52-53页 |
| ·图像检测模块 | 第53-54页 |
| ·进度显示栏 | 第54页 |
| ·运动轨迹曲线图 | 第54-55页 |
| ·匹配位置的显示 | 第55-56页 |
| ·软件的总体调试 | 第56-59页 |
| 第五章 微型驱动机构的运动状态检测实验研究 | 第59-77页 |
| ·系统的标定实验 | 第59-62页 |
| ·像素标定 | 第59页 |
| ·压电陶瓷的微振动检测 | 第59-62页 |
| ·微探针的微进给运动检测 | 第62-66页 |
| ·细长型光热微驱动机构偏转运动检测 | 第66-71页 |
| ·机构设计及光热驱动实验 | 第66-67页 |
| ·基于序列图像的微位移检测分析 | 第67-69页 |
| ·基于显微视频的运动检测分析 | 第69-71页 |
| ·触点开关式光热驱动器的运动检测 | 第71-74页 |
| ·不同激光功率下的运动检测 | 第71-73页 |
| ·不同激光频率下的运动检测 | 第73-74页 |
| ·微型驱动机构的运动检测分析与应用展望 | 第74-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-80页 |
| ·本文的工作总结 | 第77-79页 |
| ·展望 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80-81页 |
| 国家发明专利和实用新型专利 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
