双光路扫描式微型机构三维测量系统
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·微机电系统(MEMS)概述 | 第8-9页 |
| ·三维结构测量技术的研究发展现状 | 第9-15页 |
| ·触针式三维测量方法 | 第10-12页 |
| ·光学三维扫描测量技术 | 第12-14页 |
| ·MEMS三维结构测量现状 | 第14-15页 |
| ·本文的主要内容及研究成果 | 第15-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 双光路扫描式三维测量技术的新方法研究 | 第20-32页 |
| ·激光三角法测距与测厚原理 | 第20-24页 |
| ·单光路测距原理 | 第20-23页 |
| ·双光路测厚原理 | 第23-24页 |
| ·双光路扫描式三维结构测量方法研究 | 第24-30页 |
| ·基本测量原理 | 第24-26页 |
| ·双光路测量方案 | 第26-27页 |
| ·二维扫描方法研究 | 第27-30页 |
| ·微型机构三维结构重建技术研究 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-32页 |
| 第三章 双光路扫描式微型机构三维测量系统研制 | 第32-50页 |
| ·三维测量系统的总体设计 | 第32-34页 |
| ·双光路测量单元设计 | 第34-38页 |
| ·双路PSD光电检测探头研制 | 第34-36页 |
| ·前置放大及信号处理电路设计 | 第36-38页 |
| ·二维扫描系统研制 | 第38-41页 |
| ·步进控制驱动电路设计 | 第38-40页 |
| ·二维步进扫描台 | 第40-41页 |
| ·计算机A/D&D/A接口 | 第41-42页 |
| ·计算机系统软件设计 | 第42-49页 |
| ·软件总流程图与主界面 | 第43-45页 |
| ·双光路扫描控制软件模块 | 第45页 |
| ·数据采集及运算子程序 | 第45-46页 |
| ·微型机构三维结构重建软件 | 第46-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第四章 三维测量系统误差分析及其优化 | 第50-56页 |
| ·光电检测误差分析及优化 | 第50-52页 |
| ·装置安装误差及校准 | 第50-51页 |
| ·扫描台振动影响及优化 | 第51-52页 |
| ·信号处理误差分析及优化 | 第52-53页 |
| ·噪声来源及影响 | 第52页 |
| ·信号处理误差分析及优化 | 第52-53页 |
| ·其他因素影响 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |
| 第五章 微型机构的三维结构测量实验研究 | 第56-67页 |
| ·标样测量实验 | 第56-57页 |
| ·一维扫描测量实验 | 第57-60页 |
| ·台阶型结构一维扫描测量 | 第57-58页 |
| ·凹型结构一维扫描测量 | 第58-60页 |
| ·大范围扫描测量实验研究 | 第60-63页 |
| ·垫片结构扫描实验 | 第60-61页 |
| ·电容元件结构扫描实验 | 第61-62页 |
| ·指针结构扫描实验 | 第62-63页 |
| ·微型机构三维扫描实验 | 第63-66页 |
| ·微型机构三维结构图 | 第63-64页 |
| ·微型机构各部分厚度标识 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-70页 |
| ·研究工作总结 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-70页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
