| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-9页 |
| 1.2 微质量传感器研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 谐振式微质量传感器研究现状 | 第10-13页 |
| 1.4 传感器的等效电路在环境检测中的应用 | 第13-15页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 压电微质量传感器阻抗分析模型 | 第17-29页 |
| 2.1 Bernoulli-Euler梁振动特性分析 | 第17-22页 |
| 2.1.1 悬臂梁振动理论 | 第17-19页 |
| 2.1.2 梁振型函数求解 | 第19-22页 |
| 2.2 压电悬臂梁传感器等效电路模型 | 第22-26页 |
| 2.3 阻抗法灵敏度分析 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 基于电路调谐的高灵敏度微质量传感器设计 | 第29-46页 |
| 3.1 压电微质量传感器的电路设计 | 第30-33页 |
| 3.2 基于机电耦合效应的阻抗灵敏度模型 | 第33-35页 |
| 3.2.1 系统灵敏度建模 | 第33-35页 |
| 3.2.2 电路中电感值对灵敏度影响 | 第35页 |
| 3.3 机电参数对灵敏度的综合影响分析 | 第35-39页 |
| 3.4 实验验证 | 第39-43页 |
| 3.4.1 传感器制作与测试 | 第39-41页 |
| 3.4.2 实验验证 | 第41-43页 |
| 3.5 机电协同优化设计 | 第43-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 谐振式微质量传感器压电层布局优化设计 | 第46-53页 |
| 4.1 引言 | 第46-47页 |
| 4.2 压电片优化设计模型 | 第47-51页 |
| 4.2.1 优化模型 | 第48-49页 |
| 4.2.2 多段压电片的位置优化 | 第49-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-53页 |
| 结论 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |