| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 极紫外光刻技术的发展历程 | 第10-11页 |
| 1.2 激光作用锡靶机制 | 第11-13页 |
| 1.3 等离子体辐射机制 | 第13-14页 |
| 1.4 激光锡等离子体极紫外辐射的国内外研究进展 | 第14-16页 |
| 1.5 本文的研究内容及意义 | 第16-18页 |
| 2 辐射流体力学模型介绍 | 第18-25页 |
| 2.1 流体动力学方程组 | 第18-19页 |
| 2.2 激光沉淀方程 | 第19-20页 |
| 2.3 辐射传播与电子热传导 | 第20-21页 |
| 2.4 边界条件与状态方程 | 第21-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 不同波长激光烧蚀锡等离子体特性的研究 | 第25-36页 |
| 3.1 脉冲CO_2激光烧蚀锡靶的数值模拟 | 第26-30页 |
| 3.2 Nd:YAG激光烧蚀锡靶的数值模拟 | 第30-31页 |
| 3.3 CO_2与Nd：YAG激光等离子体的比较 | 第31-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 脉冲CO_2激光等离子体特性的研究 | 第36-53页 |
| 4.1 CO_2激光烧蚀氙靶与锡靶等离子体特性的研究 | 第36-38页 |
| 4.2 锡靶密度对等离子体特性的影响 | 第38-40页 |
| 4.3 CO_2激光功率密度对等离子体特性的影响 | 第40-44页 |
| 4.4 CO_2激光脉宽对等离子体特性的影响 | 第44-47页 |
| 4.5 CO_2激光拖尾对等离子体特性的影响 | 第47-49页 |
| 4.6 脉冲CO_2激光烧蚀锡靶的EUV辐射特性的研究 | 第49-52页 |
| 4.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 总结与展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间学术成果目录 | 第61页 |