| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 等离子体简介 | 第9-10页 |
| 1.2 等离子体应用介绍 | 第10-14页 |
| 1.2.1 电弧等离子体应用介绍 | 第10-13页 |
| 1.2.2 大气压射频离子体应用介绍 | 第13-14页 |
| 1.3 自动控制系统在等离子体工艺工业中的应用 | 第14-19页 |
| 1.3.1 自动控制在等离子体渗氮工艺中的应用 | 第15页 |
| 1.3.2 大气压低温等离子体温度控制中的应用 | 第15-16页 |
| 1.3.3 自动控制在直流辉光放电等离子体激光光源控制中的应用 | 第16-17页 |
| 1.3.4 加热炉温度控制中的应用 | 第17-19页 |
| 第2章 控制系统介绍 | 第19-40页 |
| 2.1 PID简介 | 第19-25页 |
| 2.1.1 传统PID | 第20-23页 |
| 2.1.2 数字PID | 第23-25页 |
| 2.2 PID参数的整定 | 第25-27页 |
| 2.3 辅助电路的选择 | 第27-35页 |
| 2.3.1 整流电路的选择 | 第27-32页 |
| 2.3.2 稳压电路的选择 | 第32-33页 |
| 2.3.3 整流电路元器件的选择 | 第33-35页 |
| 2.4 测量控制系统的选择 | 第35-39页 |
| 2.4.1 光强测量元件的选择 | 第35-36页 |
| 2.4.2 单片机及步进电机的选择 | 第36-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 自由燃烧电弧控制系统设计及实验研究 | 第40-56页 |
| 3.1 自由燃烧电弧发生器结构的设计及改进 | 第40-46页 |
| 3.1.1 放电极的设计 | 第40-42页 |
| 3.1.2 电极移动的结构设计 | 第42-43页 |
| 3.1.3 支撑台架的设计 | 第43-44页 |
| 3.1.4 真空维持系统的设计 | 第44页 |
| 3.1.5 辅助系统的设计 | 第44-46页 |
| 3.2 自由燃烧电弧控制系统探究 | 第46-49页 |
| 3.3 自由燃烧电弧实验探究 | 第49-55页 |
| 3.3.1 自由燃烧电弧放电图像的采集 | 第49-52页 |
| 3.3.2 自由燃烧电弧伏安特性分析 | 第52-53页 |
| 3.3.3 自由燃烧电弧温度场分析 | 第53-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 大气压射频等离子体测控系统设计及特性研究 | 第56-71页 |
| 4.1 大气压射频等离子体结构探究 | 第56-60页 |
| 4.1.1 发生器结构的设计 | 第56-58页 |
| 4.1.2 中间绝缘层的设计 | 第58-60页 |
| 4.2 大气压射频等离子体控制系统设计 | 第60-65页 |
| 4.2.1 控制系统仿真模型的设计 | 第60-64页 |
| 4.2.2 控制系统实物系统的搭建 | 第64-65页 |
| 4.3 大气压射频等离子体实验探究 | 第65-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 5.1 结论 | 第71页 |
| 5.2 展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 导师简介 | 第77页 |
| 企业导师简介 | 第77-78页 |
| 作者简介 | 第78-79页 |
| 学位论文数据集 | 第79页 |