硅片减薄加工磨削力在线测量装置研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 课题研究背景 | 第10-21页 |
| 1.2.1 超精密磨削工艺发展现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2 国内外磨削力测量方法 | 第14-21页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第21-22页 |
| 2 磨削力在线测量装置总体方案设计 | 第22-32页 |
| 2.1 功能需求分析 | 第22-23页 |
| 2.2 硅片磨床的结构 | 第23页 |
| 2.3 磨削测力仪安装形式 | 第23-25页 |
| 2.4 测力仪测量磨削力的数学模型 | 第25-27页 |
| 2.5 测力装置组成 | 第27-31页 |
| 2.5.1 测力装置硬件部分 | 第27-29页 |
| 2.5.2 测力装置软件部分 | 第29-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 磨削测力仪方案设计 | 第32-41页 |
| 3.1 测力仪内传感器设计 | 第32-33页 |
| 3.2 测力仪的测量原理 | 第33-36页 |
| 3.3 测力仪结构设计及优化 | 第36-38页 |
| 3.3.1 测力仪结构设计及材料选择 | 第36页 |
| 3.3.2 测力仪壳体结构优化设计 | 第36-38页 |
| 3.4 测力仪预加载荷的确定 | 第38-40页 |
| 3.4.1 预紧方案的选择 | 第38-39页 |
| 3.4.2 预紧力范围计算 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 磨削力在线测量装置性能实验研究 | 第41-64页 |
| 4.1 磨削测力仪三向中心位置静态标定实验 | 第41-48页 |
| 4.1.1 测力仪标定装置设计 | 第41-42页 |
| 4.1.2 实验系统组成 | 第42-43页 |
| 4.1.3 测力仪静态特性分析 | 第43-48页 |
| 4.2 磨削测力仪异位标定对比实验 | 第48-54页 |
| 4.2.1 X向异位标定对比实验 | 第49-50页 |
| 4.2.2 Y向异位标定对比实验 | 第50-52页 |
| 4.2.3 Z向异位标定对比实验 | 第52-54页 |
| 4.3 磨削测力仪磨削区域实验 | 第54-59页 |
| 4.3.1 最优磨削区域选择 | 第54-55页 |
| 4.3.2 磨削区域静态性能分析 | 第55-59页 |
| 4.4 磨削测力仪动态标定实验 | 第59-61页 |
| 4.4.1 动态标定实验装置 | 第60页 |
| 4.4.2 测力仪动态特性分析 | 第60-61页 |
| 4.5 实际磨削实验 | 第61-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 附录A 实物照片 | 第67-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
