投影光刻机内部气体温度控制系统设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题概述 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究发展趋势 | 第9-12页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 国内技术现状 | 第10-12页 |
| 1.3 课题主要研究内容和本文的主要工作 | 第12-14页 |
| 第2章 温度控制技术的相关理论 | 第14-20页 |
| 2.1 电路设计理论 | 第14-15页 |
| 2.2 控制相关理论和应用 | 第15-17页 |
| 2.3 通信 | 第17-18页 |
| 2.3.1 RS232C | 第17页 |
| 2.3.2 PROFIBUS-DP | 第17-18页 |
| 2.4 安全 | 第18-19页 |
| 2.5 本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 空气温度控制总体设计方案 | 第20-24页 |
| 3.1 空气温度控制存在的问题与现状 | 第20页 |
| 3.2 投影光刻机空气输送要求和总体设计方案 | 第20-22页 |
| 3.3 设计约束 | 第22页 |
| 3.4 电气设计方案 | 第22-23页 |
| 3.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第4章 高精度空气温度控制装置详细设计 | 第24-51页 |
| 4.1 总体电路分析 | 第24-30页 |
| 4.1.1 动力电路设计分析 | 第24-28页 |
| 4.1.2 控制电路设计 | 第28页 |
| 4.1.3 人机界面设计 | 第28-29页 |
| 4.1.4 安全 | 第29-30页 |
| 4.2 控制方案总体设计 | 第30-35页 |
| 4.2.1 PID温度控制设计 | 第31-32页 |
| 4.2.2 PLC系统方案设计 | 第32-35页 |
| 4.3 通信方案总体设计 | 第35-42页 |
| 4.3.1 上位机通信 | 第35-40页 |
| 4.3.2 远程EMO通信 | 第40-41页 |
| 4.3.3 设备内部通信 | 第41-42页 |
| 4.4 元器件选型及概述 | 第42-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 高精度空气温度控制装置集成和性能测试 | 第51-64页 |
| 5.1 集成概况介绍 | 第51页 |
| 5.2 电气板 | 第51-53页 |
| 5.3 触摸屏设计 | 第53-55页 |
| 5.4 PLC程序设计 | 第55-58页 |
| 5.4.1 运行逻辑 | 第56页 |
| 5.4.2 报警 | 第56-57页 |
| 5.4.3 上位机通信 | 第57-58页 |
| 5.4.4 模拟量换算 | 第58页 |
| 5.5 设备验证项概述 | 第58页 |
| 5.6 验证方法 | 第58-60页 |
| 5.6.1 噪音测试方法 | 第58-59页 |
| 5.6.2 洁净空气压力与流量测试方法 | 第59页 |
| 5.6.3 空气温度与精度控制方法 | 第59-60页 |
| 5.7 验证结果 | 第60-63页 |
| 5.7.1 噪音测试结果 | 第60页 |
| 5.7.2 洁净空气压力与流量测试 | 第60-61页 |
| 5.7.3 空气温度与精度测试 | 第61-63页 |
| 5.8 本章小结 | 第63-64页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第64-65页 |
| 6.1 全文总结 | 第64页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
