| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-13页 |
| 1.2 课题的来源及意义 | 第13页 |
| 1.3 炉管TEOS产能的国内外现状 | 第13-14页 |
| 1.4 本文思路和主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 六西格玛以及产能提升理论基础与应用方法综述 | 第15-22页 |
| 2.1 六西格玛思想方法与DMAIC | 第15-16页 |
| 2.2 六西格玛常用工具 | 第16-18页 |
| 2.2.1 帕累托图和 80/20原则 | 第17页 |
| 2.2.2 标杆管理 | 第17-18页 |
| 2.2.3 控制图 | 第18页 |
| 2.2.4 关联图和系统图 | 第18页 |
| 2.3 全局设备效率OEE | 第18-19页 |
| 2.4 极限生产速度 | 第19-21页 |
| 2.5 基础IE之动作分析和时间研究 | 第21-22页 |
| 第三章 炉管TEOS机台群组产能提升问题的定义及量测 | 第22-32页 |
| 3.1 炉管TEOS制程简介 | 第22-25页 |
| 3.2 突发的产能问题 | 第25-26页 |
| 3.3 产能量测 | 第26-32页 |
| 第四章 产能提升的对策分析与实施 | 第32-54页 |
| 4.1 可用时间提升 | 第32-41页 |
| 4.1.1 计划内停机 | 第33-36页 |
| 4.1.2 非计划内停机 | 第36-41页 |
| 4.2 性能开动率提升 | 第41-44页 |
| 4.3 合格品率保证 | 第44页 |
| 4.4 极限生产速度提升 | 第44-54页 |
| 4.4.1 加快机械手臂传送速度 | 第48-51页 |
| 4.4.2 优化反应程式减少时间浪费 | 第51-54页 |
| 第五章 产能提升的效果确认与实施对策的管控 | 第54-58页 |
| 5.1 时间可用性 | 第54页 |
| 5.2 性能开动率 | 第54-55页 |
| 5.3 极限生产速度 | 第55-56页 |
| 5.4 整体产能提升 | 第56-57页 |
| 5.5 实施对策的管控 | 第57-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-61页 |
| 6.1 总结 | 第58-60页 |
| 6.2 本文的不足及展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第64页 |