二氧化锡气敏传感器的研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 半导体气敏传感器研究现状 | 第14-15页 |
| 1.1.1 气敏传感器的发展及分类 | 第14-15页 |
| 1.1.2 半导体气敏传感器研究现状 | 第15页 |
| 1.2 二氧化锡气敏传感器的气敏机理及特性参数 | 第15-20页 |
| 1.2.1 二氧化锡的基本性质 | 第15-16页 |
| 1.2.2 二氧化锡气敏机理简介 | 第16-18页 |
| 1.2.3 二氧化锡气敏传感器的特性参数 | 第18-19页 |
| 1.2.4 二氧化锡气敏传感器的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 本文的研究内容及研究意义 | 第20-22页 |
| 1.3.1 本文的研究内容 | 第20-21页 |
| 1.3.2 本文的研究意义 | 第21-22页 |
| 第二章 二氧化锡气敏传感器对乙烯的气敏特性 | 第22-40页 |
| 2.1 乙烯传感器的研究现状 | 第22-23页 |
| 2.2 乙烯传感器的制作 | 第23-29页 |
| 2.2.1 纳米二氧化锡的制备 | 第23-25页 |
| 2.2.2 纳米二氧化锡的表征 | 第25-27页 |
| 2.2.3 乙烯传感器的制作 | 第27-29页 |
| 2.3 乙烯传感器的气敏测试 | 第29-38页 |
| 2.3.1 测试系统与配气方法简介 | 第29-30页 |
| 2.3.2 乙烯传感器的气敏性能测试 | 第30-35页 |
| 2.3.3 掺杂对乙烯传感器气敏性能的影响 | 第35-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 二氧化锡气敏传感器在对乙醇的气敏特性 | 第40-53页 |
| 3.1 乙醇传感器的研究现状 | 第40页 |
| 3.2 乙醇传感器的制作 | 第40-41页 |
| 3.3 纯二氧化锡气敏传感器对乙醇的气敏测试 | 第41-43页 |
| 3.4 石墨烯的制备及表征 | 第43-47页 |
| 3.4.1 石墨烯简介 | 第43-45页 |
| 3.4.2 石墨烯的制备 | 第45-46页 |
| 3.4.3 石墨烯的表征 | 第46-47页 |
| 3.5 石墨烯掺杂气敏传感器对乙醇的气敏测试 | 第47-52页 |
| 3.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 基于硅微通道结构的气敏传感器的探索 | 第53-69页 |
| 4.1 硅微通道板简介及制备 | 第53-57页 |
| 4.1.1 多孔硅及硅微通道板简介 | 第53-54页 |
| 4.1.2 硅微通道板制备 | 第54-57页 |
| 4.1.3 硅微通道板用于气敏传感器的优势 | 第57页 |
| 4.2 平面二氧化锡薄膜的沉积 | 第57-60页 |
| 4.2.1 二氯化锡溶胶的配制 | 第57-58页 |
| 4.2.2 平面二氧化锡薄膜的沉积 | 第58-60页 |
| 4.3 硅微通道板内二氧化锡薄膜的沉积 | 第60-66页 |
| 4.3.1 硅微通道板的氧化 | 第60-62页 |
| 4.3.2 硅微通道板内二氧化锡薄膜的沉积 | 第62-66页 |
| 4.4 基于硅微通道板的气敏传感器的设计 | 第66-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 总结 | 第69-70页 |
| 5.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利目录 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
