| 摘要 | 第1-14页 |
| Abstract | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-29页 |
| ·论文研究背景与意义 | 第16-17页 |
| ·国外研究综述 | 第17-24页 |
| ·国内研究综述 | 第24-27页 |
| ·论文主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第二章 蝶翼式微陀螺理论基础 | 第29-58页 |
| ·总体结构与工作原理 | 第29-39页 |
| ·哥氏效应 | 第29-30页 |
| ·蝶翼式微陀螺结构 | 第30-31页 |
| ·支撑梁力学特性 | 第31-37页 |
| ·工作模态 | 第37-39页 |
| ·动力学建模与动态特性分析 | 第39-52页 |
| ·阻尼分析 | 第39-46页 |
| ·驱动力矩和哥氏力矩 | 第46-50页 |
| ·动态特性分析 | 第50-52页 |
| ·驱动控制与信号检测技术 | 第52-56页 |
| ·等效电路模型 | 第53-54页 |
| ·基于双正弦载波的微弱电容检测技术 | 第54-55页 |
| ·基于 PID 振动幅值控制的闭环驱动技术 | 第55-56页 |
| ·角速度信号的正交解调 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第三章 蝶翼式微陀螺零偏稳定性形成机理研究 | 第58-77页 |
| ·微陀螺零偏稳定性概述 | 第58-60页 |
| ·零偏漂移 | 第59页 |
| ·随机噪声 | 第59-60页 |
| ·评价方法 | 第60页 |
| ·蝶翼式微陀螺零偏漂移产生机理 | 第60-63页 |
| ·蝶翼式微陀螺确定性误差及其对零偏漂移的影响 | 第63-76页 |
| ·结构误差分析 | 第63-65页 |
| ·电路误差分析 | 第65-71页 |
| ·环境误差分析 | 第71-75页 |
| ·与零偏漂移的关系 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第四章 结构应力对蝶翼式微陀螺零偏稳定性影响机理及结构优化方法研究 | 第77-101页 |
| ·蝶翼式微陀螺加工工艺简介 | 第77-81页 |
| ·硅结构加工工艺 | 第78-79页 |
| ·玻璃基底加工工艺 | 第79页 |
| ·阳极键合 | 第79-80页 |
| ·真空封装 | 第80-81页 |
| ·蝶翼式微陀螺结构应力形成机理 | 第81-87页 |
| ·阳极键合工艺形成的结构应力 | 第81-85页 |
| ·贴片封装工艺形成的结构应力 | 第85-87页 |
| ·结构应力对蝶翼式微陀螺的影响 | 第87-94页 |
| ·结构应力对微陀螺静态电容的影响 | 第87-89页 |
| ·结构应力对微陀螺模态频率的影响 | 第89-93页 |
| ·结构应力对微陀螺品质因子的影响 | 第93-94页 |
| ·蝶翼式微陀螺结构优化 | 第94-99页 |
| ·应力释放 | 第95-97页 |
| ·应力平衡 | 第97-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第五章 制造误差对蝶翼式微陀螺零偏稳定性影响机理及其抑制方法研究 | 第101-116页 |
| ·蝶翼式微陀螺结构制造误差主要来源 | 第101-106页 |
| ·材料几何误差 | 第101-103页 |
| ·制造工艺误差 | 第103-106页 |
| ·结构制造误差对蝶翼式微陀螺的影响 | 第106-110页 |
| ·制造误差对敏感结构振动特性的影响 | 第107-108页 |
| ·制造误差对微陀螺接口电容输出特性的影响 | 第108-110页 |
| ·蝶翼式微陀螺结构制造误差精密修形 | 第110-114页 |
| ·结构制造误差修形原理 | 第110-111页 |
| ·紫外激光修形系统 | 第111-112页 |
| ·紫外激光修形实验 | 第112-114页 |
| ·本章小结 | 第114-116页 |
| 第六章 蝶翼式微陀螺主要性能对比测试 | 第116-120页 |
| ·测试系统 | 第116-117页 |
| ·主要性能对比 | 第117-119页 |
| ·标度因数 | 第117-118页 |
| ·零偏稳定性 | 第118-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 第七章 总结与展望 | 第120-124页 |
| ·全文总结 | 第120-122页 |
| ·研究展望 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-138页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第138-142页 |
| 附录A 微陀螺主要性能测试及计算方法 | 第142-145页 |