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磁控溅射多层纳米节能窗膜镀膜生产线监控系统的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第1章 绪论第10-14页
   ·选题背景第10-11页
   ·国内外发展现状第11页
   ·本课题的研究意义第11-12页
   ·论文的主要内容第12-14页
第2章 节能窗膜生产工艺及控制方案设第14-20页
   ·真空镀膜技术简介第14-15页
   ·节能窗膜生产的工艺流程第15-16页
   ·影响镀膜质量的主要因素第16-17页
   ·节能窗膜镀膜生产线监控系统的要求第17页
   ·节能窗膜生产线的总体方案设计第17-20页
     ·管理单元第18-19页
     ·控制单元第19页
     ·现场单元第19-20页
第3章 镀膜生产线监控系统的硬件设计及软件设计第20-36页
   ·镀膜生产线监控系统的硬件设计第20-24页
     ·通讯协议的介绍第20-22页
     ·PLC的选型及硬件组态第22-24页
   ·镀膜生产线监控系统的软件设计第24-36页
     ·程序编写的软件环境第25-27页
     ·镀膜控制系统中主要的PLC程序第27-33页
     ·镀膜生产线上位机组态画面的设计第33-36页
第4章 靶电源模糊自适应PID控制设计第36-51页
   ·PID控制算法第36-38页
     ·PID控制器概述第36-37页
     ·PID控制参数的整定第37-38页
     ·PID控制的优缺点第38页
   ·模糊控制算法第38-40页
   ·模糊自适应PID控制算法第40-46页
     ·模糊自适应PID控制的结构及原理第40页
     ·模糊自适应PID控制器的设计思想第40-41页
     ·模糊自适应PID控制器的设计步骤第41-42页
     ·靶电源模糊自适应PID控制器的设计第42-45页
     ·模糊自适应PID控制软件流程设计第45-46页
   ·模糊控制自适应PID算法在PLC上具体实现第46-51页
     ·PID算法的实现第46-47页
     ·模糊算法的实现第47-51页
第5章 薄膜张力控制系统设计第51-65页
   ·磁粉制动器的原理及选型第51-54页
     ·磁粉制动器的基本结构和工作原理第51-52页
     ·磁粉制动器的电气工作特性第52-53页
     ·磁粉制动器数学模型第53-54页
     ·磁粉制动器的选型第54页
   ·张力控制系统的动力学分析第54-58页
     ·张力产生的原因第54-56页
     ·放卷过程分析第56-58页
   ·模型参考自适应张力控制策略的设计第58-60页
     ·控制系统参考模型的建立第59页
     ·自适应规律的确定第59-60页
   ·恒线速度控制系统的设计第60-62页
     ·恒张力控制系统的软件设计第61-62页
   ·收卷纠偏系统设计第62-65页
     ·超声波纠偏原理第62-63页
     ·纠偏系统的执行机构第63页
     ·纠偏系统软件设计第63-65页
第6章 系统仿真测试与分析第65-70页
   ·仿真工具介绍第65-66页
   ·靶电源恒电流输出的仿真第66-68页
   ·放卷段薄膜张力控制的仿真第68-70页
第7章 总结与展望第70-72页
   ·论文总结第70页
   ·展望第70-72页
参考文献第72-75页
致谢第75-76页
攻读硕士学位期间论文发表及科研情况第76页

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