基于边界元法的矩形冗余填充耦合电容提取方法
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·研究的背景和意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状及问题 | 第8-9页 |
| ·论文的研究目标 | 第9-10页 |
| ·论文的章节安排 | 第10-11页 |
| 第二章 CMP 冗余填充技术 | 第11-23页 |
| ·化学机械抛光工艺 | 第11-15页 |
| ·工艺简介 | 第11-12页 |
| ·工艺描述 | 第12-13页 |
| ·化学机械抛光机制研究 | 第13-14页 |
| ·化学机械抛光缺陷 | 第14-15页 |
| ·冗余金属填充技术 | 第15-20页 |
| ·技术简介 | 第15-16页 |
| ·接地和浮空 | 第16页 |
| ·寄生效应的影响 | 第16-17页 |
| ·冗余填充的优化 | 第17-18页 |
| ·耦合电容计算方法 | 第18-20页 |
| ·本章小结 | 第20-23页 |
| 第三章 边界元法 | 第23-35页 |
| ·三维电容提取方法 | 第23-25页 |
| ·解析模型法 | 第23-24页 |
| ·数值模拟法 | 第24-25页 |
| ·边界积分方程 | 第25-28页 |
| ·调和方程基本定解 | 第25-26页 |
| ·泊松方程 | 第26-27页 |
| ·格林公式 | 第27-28页 |
| ·边界元法 | 第28-32页 |
| ·边界元法简介 | 第28页 |
| ·间接边界元法 | 第28-30页 |
| ·直接边界元法 | 第30-32页 |
| ·导体表面分块 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 用边界元法计算耦合电容 | 第35-53页 |
| ·计算思想 | 第35-36页 |
| ·基于边界元法的矩形冗余填充耦合电容提取方法 | 第36-45页 |
| ·步骤描述 | 第37-42页 |
| ·奇异点的问题 | 第42-43页 |
| ·GMRES(m)算法 | 第43-44页 |
| ·电容公式 | 第44-45页 |
| ·算例分析 | 第45-47页 |
| ·耦合电容影响因素分析 | 第47-50页 |
| ·特殊填充形状的计算方法 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 研究成果 | 第61-62页 |
