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非平衡格林函数法在纳米量级MOS器件分析中的应用

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 半导体器件中的载流子输运第8-13页
   ·经典输运模型: 漂移—扩散模型第8-9页
   ·传统量子输运模型: 密度梯度模型第9-10页
   ·非平衡格林函数的引入第10-11页
   ·本论文的目的和意义第11-13页
第二章 非平衡格林函数方法第13-26页
   ·简介第13页
   ·自洽方程组及基本解第13-19页
   ·Büttiker探针散射模型第19-21页
   ·边界条件的确定第21-23页
   ·实空间和模空间的讨论第23-26页
第三章 非平衡格林函数方法对纳米量级MOS器件的应用第26-45页
   ·器件模型结构第26-27页
   ·弹道输运模型的模拟结果第27-39页
     ·器件在平衡状态下的性质第27-34页
     ·器件在非平衡状态下的性质第34-39页
   ·Büttiker探针散射模型的模拟结果第39-42页
   ·态密度能谱分布图第42-45页
第四章 对纳米量级双栅MOS开启电压的研究第45-59页
   ·简介第45-46页
   ·窄沟效应第46-50页
   ·短沟效应第50-53页
   ·氧化层厚度的影响第53-55页
   ·总的效应第55-56页
   ·讨论第56-58页
   ·总结第58-59页
第五章 总结与展望第59-64页
   ·全文总结第59-60页
   ·将来的工作第60-64页
     ·掺杂浓度的问题第60-62页
     ·模空间带来的问题第62-63页
     ·有待解释的现象第63页
     ·处理散射的问题第63-64页
参考文献第64-66页
致谢第66页

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