| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·湿法腐蚀简介 | 第7-10页 |
| ·硅的各向异性腐蚀 | 第10-12页 |
| ·研究现状及发展趋势 | 第12-13页 |
| ·研究的内容和意义 | 第13-14页 |
| 第二章 硅的各向异性腐蚀技术和模型研究 | 第14-25页 |
| ·各向异性腐蚀技术 | 第14-15页 |
| ·腐蚀模型 | 第15-20页 |
| ·模型的比较与分析 | 第20-22页 |
| ·模型的补充与发展 | 第22-25页 |
| 第三章 湿法腐蚀中的背部减薄技术 | 第25-36页 |
| ·背部减薄技术中的干法刻蚀 | 第25-27页 |
| ·背部减薄技术中的各向异性湿法腐蚀 | 第27-34页 |
| ·机械研磨对背部减薄方法 | 第34-36页 |
| 第四章 实验分析 | 第36-47页 |
| ·KOH各向异性腐蚀的实验 | 第36-39页 |
| ·物理方法背部减薄的实验 | 第39-40页 |
| ·实验结果分析 | 第40-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |