| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-17页 |
| §1.1 课题背景 | 第6页 |
| §1.2 加速度计原理 | 第6-7页 |
| §1.3 微加速度计简介 | 第7-16页 |
| §1.3.1 微加速度计的应用 | 第8页 |
| §1.3.2 微加速度计的制造技术 | 第8-9页 |
| §1.3.3 微加速度计在近几十年的发展 | 第9-10页 |
| §1.3.4 几种典型的微加速度计 | 第10-16页 |
| §1.4 本课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 加速度计相关理论分析 | 第17-29页 |
| §2.1 加速度计的基本力学模型 | 第17-18页 |
| §2.2 微加速度计的设计理论 | 第18-22页 |
| §2.3 加速度计输出信号的信息组成 | 第22-26页 |
| §2.3.1 简化的无阻尼力学模型和动力学方程 | 第22-23页 |
| §2.3.2 加速度计激励信号~αf~(t)分析 | 第23-24页 |
| §2.3.3 加速度计输出信号的解析表达式 | 第24-25页 |
| §2.3.4 加速度计输出信号所包含的加速度信息 | 第25-26页 |
| §2.4 微加速度计的误差分析 | 第26-28页 |
| §2.4.1 机械结构噪声(布朗(Brownain)噪声) | 第26-27页 |
| §2.4.2 集成运算放大器噪声 | 第27页 |
| §2.4.3 温度误差 | 第27-28页 |
| §2.5 微加速度计的主要性能指标以及测试方法 | 第28-29页 |
| 第三章 光学式高精度加速度计的位移测量系统 | 第29-47页 |
| §3.1 光杠杆微位移放大系统 | 第29-33页 |
| §3.2 压电陶瓷标准位移输出装置 | 第33-38页 |
| §3.2.1 压电陶瓷基本原理 | 第34页 |
| §3.2.2 压电陶瓷位移特性 | 第34-37页 |
| §3.2.2 压电陶瓷的一些其它特性 | 第37-38页 |
| §3.3 PSD信号检测装置 | 第38-42页 |
| §3.3.1 PSD器件原理 | 第38-40页 |
| §3.3.2 PSD电路图 | 第40-42页 |
| §3.3.3 PSD检测系统的电路误差 | 第42页 |
| §3.4 光杠杆系统Ⅲ型原理 | 第42-47页 |
| 第四章 光学式高精度加速度计实验测试系统 | 第47-56页 |
| §4.1 测量系统总体结构(系统Ⅰ型) | 第47-51页 |
| §4.2 整体结构的微型化(系统Ⅱ型) | 第51-56页 |
| 第五章 测量系统的实验结果和数据处理 | 第56-62页 |
| §5.1 使用电容测微仪对压电陶瓷形变量进行标定 | 第56-57页 |
| §5.2 光杠杆微位移测量系统对PZT形变量的测量数据 | 第57-58页 |
| §5.3 系统的理论分辨率 | 第58-59页 |
| §5.4 系统的实际分辨率 | 第59页 |
| §5.5 根据位移分辨率分析加速度计的分辨率 | 第59-60页 |
| §5.6 误差分析 | 第60-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| §6.1 课题工作总结 | 第62页 |
| §6.2 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 在校期间发表论文 | 第66页 |