| 中文摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 研究的目的和意义 | 第7-8页 |
| 1.2 大曲率面形测量的研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.1 接触式测量 | 第9-10页 |
| 1.2.2 非接触测量 | 第10-11页 |
| 1.3 大曲率面形测量关键技术 | 第11-15页 |
| 1.3.1 光学探针扫描技术 | 第12-13页 |
| 1.3.2 回转误差分离技术 | 第13-15页 |
| 1.4 课题来源和主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 大曲率面形测量传感技术原理 | 第17-38页 |
| 2.1 高分辨率差动共焦测量技术 | 第17-31页 |
| 2.1.1 差动共焦系统的原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 针孔偏移最佳化距离 | 第18-19页 |
| 2.1.3 针孔最佳尺寸 | 第19-20页 |
| 2.1.4 光束倾斜对于分辨率的影响 | 第20-21页 |
| 2.1.5 待测面倾斜状态下高斯光束对测量结果的误差分析 | 第21-24页 |
| 2.1.6 轴向分辨率实验验证 | 第24-26页 |
| 2.1.7 差动共焦系统的实现 | 第26-31页 |
| 2.2 单轴法线自动跟踪技术 | 第31-37页 |
| 2.2.1 单轴法线跟踪的基本原理 | 第31-34页 |
| 2.2.2 焦点位置的判定及系统量程的增加 | 第34-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 高分辨率单轴法线跟踪测量系统测量实验 | 第38-46页 |
| 3.1 单轴法线跟踪系统的实现 | 第38-39页 |
| 3.2 跟踪算法 | 第39-43页 |
| 3.2.1 单轴法线跟踪系统 | 第41-42页 |
| 3.2.2 高分辨率差动共焦系统 | 第42-43页 |
| 3.3 实验测试数据 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 大曲率面形测量回转轴误差分离技术 | 第46-58页 |
| 4.1 测量系统的误差来源 | 第46页 |
| 4.2 主轴回转误差 | 第46-54页 |
| 4.2.1 主轴径向运动误差的测量 | 第47-48页 |
| 4.2.2 多测头法原理 | 第48-50页 |
| 4.2.3 一阶偏心和径向运动误差的不可分离性 | 第50-52页 |
| 4.2.4 轴向运动误差的分离 | 第52-54页 |
| 4.3 测头位置 | 第54-56页 |
| 4.4 回转轴误差分离仿真模拟实验 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 回转轴误差分离设计及实验 | 第58-67页 |
| 5.1 电容传感器线性度测量 | 第58-60页 |
| 5.2 实验设计和实现 | 第60-66页 |
| 5.2.1 轴向误差分离实验 | 第61-64页 |
| 5.2.2 径向误差分离实验 | 第64-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 全文总结 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |