| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 硅片传输机器人研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 运动控制系统研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.3 残余振动控制技术研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 课题研究意义 | 第16页 |
| 1.4 本课题研究内容 | 第16-19页 |
| 第二章 运动控制系统的设计与实现 | 第19-37页 |
| 2.1 支链嵌套并联机器人基本结构 | 第19-20页 |
| 2.2 运动控制系统控制方案的设计 | 第20-21页 |
| 2.3 运动控制系统硬件平台的搭建 | 第21-27页 |
| 2.3.1 运动控制模块 | 第21-22页 |
| 2.3.2 电子手轮控制模块 | 第22-23页 |
| 2.3.3 伺服驱动模块 | 第23-25页 |
| 2.3.4 其他模块 | 第25-27页 |
| 2.4 运动控制系统软件平台的选择 | 第27-29页 |
| 2.4.1 运用DLL与CIN节点接口技术 | 第27-28页 |
| 2.4.2 LabVIEW与MATLAB的混合编程 | 第28-29页 |
| 2.5 运动控制系统软件的设计与实现 | 第29-36页 |
| 2.5.1 人机交互界面 | 第29-33页 |
| 2.5.2 控制程序 | 第33-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 机械手末端残余振动的主动抑制 | 第37-47页 |
| 3.1 问题的提出 | 第37页 |
| 3.2 刚柔耦合动力学建模 | 第37-41页 |
| 3.3 动态特性分析 | 第41-42页 |
| 3.3.1 模态分析 | 第41页 |
| 3.3.2 振型及共振频率分析 | 第41-42页 |
| 3.4 最优S型速度轨迹曲线 | 第42-43页 |
| 3.5 输入整形 | 第43-44页 |
| 3.5.1 等效二阶欠阻尼系统的衰减振动模型 | 第43页 |
| 3.5.2 基于输入整形的开环控制器 | 第43-44页 |
| 3.6 输入整形和最优S轨迹曲线相结合 | 第44-45页 |
| 3.7 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 实验调试与残余振动抑制方法的验证 | 第47-55页 |
| 4.1 实验平台的搭建 | 第47-48页 |
| 4.2 参数的设置 | 第48-51页 |
| 4.2.1 伺服参数的设定与调整 | 第48-50页 |
| 4.2.2 硬件参数的设置和动态调试 | 第50-51页 |
| 4.3 残余振动主动抑制方法的验证 | 第51-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 结论 | 第55页 |
| 5.2 展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |