| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 文献综述 | 第10-22页 |
| 1.1 碳化硅器件 | 第10-12页 |
| 1.1.1 碳化硅器件在高温领域的应用 | 第10-12页 |
| 1.1.2 碳化硅器件待攻克的问题 | 第12页 |
| 1.2 碳化硅欧姆接触 | 第12-18页 |
| 1.2.1 退火工艺对欧姆接触接触性能的影响 | 第15-16页 |
| 1.2.2 金属体系对欧姆接触接触性能的影响 | 第16-18页 |
| 1.3 碳化硅高温欧姆接触 | 第18-20页 |
| 1.3.1 高温欧姆接触体系 | 第18-19页 |
| 1.3.2 老化测试及退化机理研究 | 第19-20页 |
| 1.4 本论文主要研究的内容 | 第20-22页 |
| 第二章 欧姆接触的制备与表征 | 第22-31页 |
| 2.1 制备工艺 | 第22-25页 |
| 2.1.1 常温欧姆接触制备工艺 | 第22-24页 |
| 2.1.2 高温抗氧化工艺 | 第24-25页 |
| 2.2 表征手段 | 第25-30页 |
| 2.2.1 形貌表征 | 第26-27页 |
| 2.2.2 电学性能表征 | 第27-29页 |
| 2.2.3 物相表征 | 第29-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 Ta对Ni/SiC欧姆接触性能的影响 | 第31-44页 |
| 3.1 Ni/SiC高温欧姆接触性能的研究 | 第31-36页 |
| 3.1.1 退火温度对欧姆接触性能的影响 | 第31-33页 |
| 3.1.2 金属层厚度的影响 | 第33-35页 |
| 3.1.3 Ni/SiC体系的高温稳定性及失效机制 | 第35-36页 |
| 3.2 Ni基高温欧姆接触体系的选择原则 | 第36-38页 |
| 3.3 Ni-Ta高温欧姆接触体系研究 | 第38-43页 |
| 3.3.1 探究Ta/SiC欧姆接触性能 | 第38-39页 |
| 3.3.2 探究金属层的堆积方式对欧姆接触性能的影响 | 第39-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 W对Ni/SiC欧姆接触性能的影响 | 第44-58页 |
| 4.1 Ni-W高温欧姆接触体系的研究 | 第44-50页 |
| 4.1.1 探究W/SiC体系的欧姆接触性能 | 第44-46页 |
| 4.1.2 探究堆积方式对欧姆接触性能的影响 | 第46-47页 |
| 4.1.3 探究金属层层数对欧姆接触性能的影响 | 第47-49页 |
| 4.1.4 体系的最终优化 | 第49-50页 |
| 4.2 W对Ni/SiC接触性能的影响 | 第50-55页 |
| 4.2.1 W/Ni/SiC反应机理分析 | 第50-52页 |
| 4.2.2 W对Ni/SiC形貌的影响 | 第52-55页 |
| 4.2.3 W对Ni/SiC电学性能的影响 | 第55页 |
| 4.3 高温欧姆接触体系 | 第55-57页 |
| 4.3.1 体系微观结构的退化机制及解决办法 | 第56页 |
| 4.3.2 界面性质的退化机制及解决办法 | 第56-57页 |
| 4.3.3 高温欧姆接触体系的确定流程 | 第57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 硕士期间主要研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |