| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-38页 |
| ·研究背景 | 第18-26页 |
| ·GaN-MOCVD概述 | 第18-20页 |
| ·MOCVD反应器内的输运过程 | 第20-23页 |
| ·GaN-MOCVD中的化学反应 | 第23-25页 |
| ·本文的研究目的 | 第25-26页 |
| ·文献综述 | 第26-35页 |
| ·MOCVD过程的模型化研究进展 | 第26-27页 |
| ·MOCVD反应器内输运现象的研究进展 | 第27-31页 |
| ·GaN-MOCVD化学反应动力学的研究进展 | 第31-35页 |
| ·存在的问题及本文的研究内容 | 第35-38页 |
| ·目前研究存在的问题 | 第35-36页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第36-38页 |
| 第二章 GaN-MOCVD生长的输运模型 | 第38-56页 |
| ·模型假设 | 第38-39页 |
| ·控制方程 | 第39-44页 |
| ·边界条件 | 第44-46页 |
| ·气体热物性参数 | 第46-48页 |
| ·单一组分的热物性参数 | 第46-47页 |
| ·混合气体的热物性参数 | 第47-48页 |
| ·数值计算方法 | 第48-55页 |
| ·网格的生成 | 第49页 |
| ·控制方程的离散 | 第49-51页 |
| ·SIMPLE算法 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第三章 GaN-MOCVD生长的反应动力学模型 | 第56-72页 |
| ·气相反应模型 | 第56-66页 |
| ·本文模型简介 | 第56-58页 |
| ·TMG的分解路径 | 第58页 |
| ·氨气的分解路径 | 第58-61页 |
| ·加合物形成路径 | 第61-66页 |
| ·表面反应模型 | 第66-67页 |
| ·GaN-MOCVD中的纳米粒子 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第四章 GaN-MOCVD反应路径及薄膜生长速率的模拟分析 | 第72-108页 |
| ·高速转盘式反应器中的反应路径和生长速率分析 | 第72-93页 |
| ·高速转盘式反应器几何模型及基准条件 | 第72-73页 |
| ·基准条件下的模拟结果和验证 | 第73-77页 |
| ·压强的影响 | 第77-79页 |
| ·基片转速的影响 | 第79-81页 |
| ·基片温度的影响 | 第81-87页 |
| ·反应腔高度的影响 | 第87-88页 |
| ·进口流速的影响 | 第88-90页 |
| ·分隔进口的影响 | 第90-93页 |
| ·水平式反应器中的反应路径和生长速率分析 | 第93-106页 |
| ·水平式反应器几何模型及基准条件 | 第93-94页 |
| ·基准条件下的模拟结果 | 第94-96页 |
| ·压强的影响 | 第96-99页 |
| ·进口流速的影响 | 第99-102页 |
| ·基片温度的影响 | 第102-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 第五章 TMG前体利用率的模拟结果分析与解析模型的建立 | 第108-124页 |
| ·TMG前体利用率的定义及模拟计算过程 | 第108-109页 |
| ·高速转盘式反应器中TMG前体利用率的模拟结果分析 | 第109-112页 |
| ·水平式反应器中TMG前体利用率的模拟结果分析 | 第112-113页 |
| ·解析模型概述 | 第113页 |
| ·水平式反应器中TMG前体利用率的解析模型 | 第113-118页 |
| ·水平式反应器模型及假设条件 | 第113-114页 |
| ·TMG前体利用率的数学推导 | 第114-117页 |
| ·模型的验证与应用 | 第117-118页 |
| ·垂直式反应器中TMG前体利用率的解析模型 | 第118-123页 |
| ·垂直式反应器模型及假设条件 | 第118-119页 |
| ·TMG前体利用率的数学推导 | 第119-122页 |
| ·模型的验证与应用 | 第122-123页 |
| ·本章小结 | 第123-124页 |
| 第六章 高速转盘式反应器中GaN寄生反应的影响因素分析 | 第124-136页 |
| ·压强对寄生反应的影响 | 第124-125页 |
| ·基片转速对寄生反应的影响 | 第125-126页 |
| ·基片温度对寄生反应的影响 | 第126-128页 |
| ·反应腔高度对寄生反应的影响 | 第128-129页 |
| ·进口流速对寄生反应的影响 | 第129-130页 |
| ·分隔进口对寄生反应的影响 | 第130-131页 |
| ·气体驻留时间及其对纳米粒子的影响 | 第131-134页 |
| ·气体驻留时间的计算方法 | 第131-132页 |
| ·几种情况下的气体驻留时间 | 第132-134页 |
| ·本章小结 | 第134-136页 |
| 第七章 总结与展望 | 第136-140页 |
| ·总结 | 第136-138页 |
| ·主要工作 | 第136-138页 |
| ·创新点 | 第138页 |
| ·展望 | 第138-140页 |
| 参考文献 | 第140-148页 |
| 致谢 | 第148-150页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第150页 |
