硅片传输机械手的改进及其定位精度分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·论文的选题背景 | 第10-11页 |
| ·机械手的组成及其分类 | 第11-13页 |
| ·机械手的组成 | 第11-12页 |
| ·机械手的分类 | 第12-13页 |
| ·硅片传输机械手的现状 | 第13-16页 |
| ·硅片传输机械手的分类 | 第13-14页 |
| ·硅片传输机械手国外研究现状 | 第14-15页 |
| ·硅片传输机械手国内研究现状 | 第15-16页 |
| ·国内外硅片传输机械手的发展趋势 | 第16页 |
| ·课题研究的意义和重复定位精度确定的依据 | 第16-18页 |
| ·课题研究的意义 | 第16页 |
| ·确定重复定位精度的依据 | 第16-18页 |
| ·硅片传输机械手重复定位精度影响因素 | 第18页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 硅片传输机械手试验平台的完善 | 第20-35页 |
| ·硅片传输机械手机械结构及改进 | 第20-25页 |
| ·升降旋转运动 | 第20-21页 |
| ·径向伸缩运动 | 第21-23页 |
| ·末端臂体的校正 | 第23-24页 |
| ·轴毂连接件 | 第24-25页 |
| ·硅片传输机械手控制系统完善 | 第25-31页 |
| ·硅片传输机械手控制系统的设计要求 | 第25-26页 |
| ·硅片传输机械手控制系统的性能指标及控制方案 | 第26-27页 |
| ·伺服电机的选定和参数的设定 | 第27-29页 |
| ·PMAC2A-PC104控制器参数设定 | 第29-30页 |
| ·PMAC2A-PC104与伺服电机的硬件连接 | 第30-31页 |
| ·硅片传输机械手的限位控制 | 第31-34页 |
| ·接近开关的分类 | 第32页 |
| ·接近开关的选型与安装 | 第32-34页 |
| ·硅片传输机械手的技术指标 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 硅片传输机械手控制系统调整 | 第35-47页 |
| ·伺服系统 PID控制器 | 第35-36页 |
| ·PID控制的原理和特点 | 第36-37页 |
| ·PID控制器参数整定 | 第37-38页 |
| ·PID参数整定依据 | 第38-40页 |
| ·PMAC控制器中对PID参数整定 | 第40-46页 |
| ·伺服滤波器的工作原理及确定PID校正方案 | 第40-41页 |
| ·用阶跃响应调整PID参数 | 第41-44页 |
| ·用抛物线响应调整前馈 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 硅片传输机械手控制软件设计和调试 | 第47-56页 |
| ·运动程序 | 第47-48页 |
| ·运动程序的基本规则 | 第47页 |
| ·运动程序的语法 | 第47-48页 |
| ·PLC程序 | 第48-50页 |
| ·硅片传输机械手的回零运动控制 | 第50页 |
| ·运动控制程序的工作流程图 | 第50-51页 |
| ·人机交互界面的建立 | 第51-55页 |
| ·PComm32 PRO数据库的应用 | 第52页 |
| ·运动控制器变量的初始化 | 第52-53页 |
| ·PtalkDT控件的调用 | 第53页 |
| ·人机交互界面的建立 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 硅片传输机械手重复定位精度分析 | 第56-65页 |
| ·重复定位精度测量 | 第56-57页 |
| ·硅片传输机械手调整前重复定位精度 | 第57-60页 |
| ·硅片传输机械手调整前径向伸缩重复定位精度 | 第57-58页 |
| ·硅片传输机械手调整前升降重复定位精度 | 第58-59页 |
| ·硅片传输机械手调整前旋转重复定位精度 | 第59-60页 |
| ·硅片传输机械手调整后重复定位精度 | 第60-64页 |
| ·硅片传输机械手调整后径向伸缩重复定位精度 | 第60-61页 |
| ·硅片传输机械手调整后升降重复定位精度 | 第61-62页 |
| ·硅片传输机械手调整后旋转重复定位精度 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
