| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| TABLE OF CONTENTS | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-19页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第14-16页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·课题研究的意义 | 第14-16页 |
| ·课题已有的研究基础 | 第16-17页 |
| ·本论文的研究内容 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 嵌入式IC晶片视觉检测基础 | 第19-40页 |
| ·嵌入式技术 | 第19-26页 |
| ·嵌入式系统的应用 | 第19-25页 |
| ·嵌入式IC晶片显微图像处理技术 | 第25-26页 |
| ·IC晶片污染物和缺陷检测技术 | 第26-29页 |
| ·人工检验 | 第26-27页 |
| ·IC晶片机器视觉检测技术 | 第27-29页 |
| ·数字图像的采集 | 第29-35页 |
| ·CCD和CMOS图像传感器 | 第29-33页 |
| ·视频信号基础 | 第33-35页 |
| ·显微视觉测量技术 | 第35-39页 |
| ·亚像素细分技术概述 | 第36-37页 |
| ·空间矩亚像素边缘定位技术 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 显微数控工件台的高速度高精度定位技术 | 第40-58页 |
| ·大行程纳米级精密工件台 | 第40-45页 |
| ·高速、高精度驱动技术 | 第40-42页 |
| ·微位移高精度定位控制技术 | 第42-45页 |
| ·工件台控制系统设计 | 第45-48页 |
| ·系统组成模块 | 第45-46页 |
| ·工件台控制系统硬件设计 | 第46-47页 |
| ·IC晶片检测策略 | 第47-48页 |
| ·工件台的运动误差分析 | 第48-50页 |
| ·工件台直线运动误差 | 第48-49页 |
| ·工件台运动转角误差 | 第49-50页 |
| ·工件台的振动控制技术 | 第50-56页 |
| ·IC晶片检测系统振动研究的必要性 | 第50-51页 |
| ·工件台多自由度系统的振动 | 第51-54页 |
| ·振动源 | 第54页 |
| ·振动分析和隔振评价 | 第54-56页 |
| ·工件台减振措施 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 IC晶片显微图像采集技术 | 第58-83页 |
| ·IC晶片显微图像采集系统的设计思想 | 第58-60页 |
| ·嵌入式IC晶片实时图像采集系统 | 第60-70页 |
| ·嵌入式IC晶片实时图像采集控制系统结构 | 第60-61页 |
| ·系统核心芯片介绍 | 第61-64页 |
| ·图像采集系统硬件设计 | 第64-68页 |
| ·SAA7111A调试 | 第68-70页 |
| ·自动调焦技术 | 第70-82页 |
| ·常用的自动聚焦判决函数 | 第71-72页 |
| ·聚焦函数优劣的评判标准 | 第72页 |
| ·IC晶片显微图像聚集判决函数MATLAB仿真实验 | 第72-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第五章 软件设计与实现 | 第83-94页 |
| ·软件总体设计 | 第83-85页 |
| ·系统自检程序设计 | 第85页 |
| ·Nucleus PLUS下软件设计 | 第85-93页 |
| ·Nucleus嵌入式产品开发工具 | 第85-86页 |
| ·Nucleus PLUS初始化 | 第86页 |
| ·S3C2410X上的启动软件设计 | 第86-87页 |
| ·多任务的应用设计 | 第87-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 结论 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-99页 |
| 攻读学位期间发表的论文及科研获奖 | 第99-100页 |
| 独创性声明 | 第100-101页 |
| 致谢 | 第101-102页 |
| 附录1 | 第102页 |