| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-9页 |
| 第二章 在线检测技术的原理和逻辑产品工艺的介绍 | 第9-21页 |
| ·在线检测技术 | 第9-13页 |
| ·逻辑产品工艺 | 第13-21页 |
| ·逻辑产品工艺介绍 | 第13-17页 |
| ·逻辑产品金属化要求 | 第17-21页 |
| 第三章 后段工艺中的三种严重缺陷的产生机理及解决方法研究 | 第21-53页 |
| ·甜甜圈状缺陷 | 第21-31页 |
| ·缺陷分析与实验调查 | 第21-24页 |
| ·产生机理 | 第24-28页 |
| ·解决方案与工艺改进 | 第28-31页 |
| ·小丘状缺陷 | 第31-38页 |
| ·缺陷分析与产生机理调查 | 第31-34页 |
| ·解决方案与新工艺的产生 | 第34-38页 |
| ·晶须突出缺陷 | 第38-53页 |
| ·缺陷机理分析与实验调查 | 第38-43页 |
| ·新工艺解决方案 | 第43-49页 |
| ·钨化学机械抛光法解决方案 | 第49-51页 |
| ·几种解决方案的讨论 | 第51-53页 |
| 第四章 后段金属化工艺改善方案 | 第53-57页 |
| 第五章 全文总结 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |