| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 半导体制造产业现状 | 第9页 |
| 1.1.2 晶圆生产工艺概述 | 第9-11页 |
| 1.2 组合设备调度问题概述 | 第11-16页 |
| 1.2.1 组合设备 | 第11-12页 |
| 1.2.2 组合设备调度研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.3 相关调度问题研究 | 第15-16页 |
| 1.3 课题来源及研究内容 | 第16-17页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.3.2 研究内容及论文框架 | 第16-17页 |
| 1.4 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 双臂组合设备PetriNet建模 | 第18-27页 |
| 2.1 PetriNet基本概念 | 第18-19页 |
| 2.2 PetriNet基本特性 | 第19-20页 |
| 2.3 双臂组合设备生产过程分析 | 第20-24页 |
| 2.3.1 多品种晶圆生产流程模式 | 第20-22页 |
| 2.3.2 机械手活动分析 | 第22-24页 |
| 2.4 双臂组合设备PetriNet建模 | 第24-26页 |
| 2.4.1 生产过程建模 | 第24-25页 |
| 2.4.2 PetriNet模型死锁控制 | 第25页 |
| 2.4.3 活动时间分析 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 多品种晶圆混合加工的可调度性分析及判定 | 第27-40页 |
| 3.1 生产周期分析 | 第27-30页 |
| 3.1.1 晶圆固有生产周期 | 第27-28页 |
| 3.1.2 机械手生产周期 | 第28-29页 |
| 3.1.3 系统生产周期 | 第29-30页 |
| 3.2 可调度性判定 | 第30-34页 |
| 3.2.1 无PM共享情形 | 第30-32页 |
| 3.2.2 有PM共享情形 | 第32-34页 |
| 3.3 实例 | 第34-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 基于eM-Plant的多品种晶圆混合加工分析 | 第40-53页 |
| 4.1 离散事件系统概论 | 第40-41页 |
| 4.1.1 离散事件系统 | 第40-41页 |
| 4.1.2 离散事件系统仿真建模 | 第41页 |
| 4.2 eM-Plant简介 | 第41-42页 |
| 4.3 系统建模 | 第42-48页 |
| 4.3.1 仿真模型框架 | 第43-46页 |
| 4.3.2 参数化界面设计 | 第46-48页 |
| 4.4 系统仿真模型控制策略 | 第48-52页 |
| 4.4.1 机械手控制策略 | 第48-51页 |
| 4.4.2 仿真数据收集 | 第51页 |
| 4.4.3 仿真结果输出 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 总结 | 第53页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 附录 | 第59-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读学位期间参研项目与主要研究成果 | 第67-68页 |