| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 双工件台及其换台技术发展现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 扰动观测器的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.2.3 同步控制的发展现状 | 第13页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 双工件台换台系统介绍 | 第15-28页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 光刻机整体结构及双工件台功能介绍 | 第15-16页 |
| 2.3 双工件台结构分析 | 第16-19页 |
| 2.3.1 双工件台的结构介绍 | 第16-18页 |
| 2.3.2 双工件台宏动系统结构分析 | 第18-19页 |
| 2.4 双工件台换台的规划分析 | 第19-24页 |
| 2.4.1 双工件台换台的整体规划 | 第19-22页 |
| 2.4.2 双工件台换台过程中宏动系统的运动规划分析 | 第22-24页 |
| 2.5 双工件台换台过程中宏动系统的扰动分析 | 第24-27页 |
| 2.5.1 宏动系统扰动分析的必要性 | 第24-26页 |
| 2.5.2 宏动系统的扰动分析 | 第26-27页 |
| 2.6 小结 | 第27-28页 |
| 第3章 X向单电机定位过程中的扰动抑制研究 | 第28-49页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 直线电机概述 | 第28-30页 |
| 3.2.1 直线电机的基本结构 | 第28-29页 |
| 3.2.2 直线电机的工作原理 | 第29页 |
| 3.2.3 实验直线电机样机 | 第29-30页 |
| 3.3 X向单电机定位过程中的扰动分析 | 第30-32页 |
| 3.4 直线电机定位力扰动的模型辨识 | 第32-35页 |
| 3.4.1 定位力扰动的辨识实验 | 第32-33页 |
| 3.4.2 定位力扰动的模型辨识 | 第33-35页 |
| 3.5 基于扰动观测器的定位力扰动抑制研究 | 第35-40页 |
| 3.5.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.5.2 扰动观测器的基本原理 | 第36-38页 |
| 3.5.3 扰动观测器鲁棒稳定性分析 | 第38-40页 |
| 3.6 基于扰动观测器的单电机定位控制系统设计与仿真 | 第40-48页 |
| 3.6.1 基于扰动观测器的单电机定位控制系统结构 | 第40-41页 |
| 3.6.2 扰动观测器的参数设计 | 第41-44页 |
| 3.6.3 扰动观测器的仿真实验 | 第44-48页 |
| 3.7 小结 | 第48-49页 |
| 第4章 Y向多电机同步过程中的扰动抑制研究 | 第49-61页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 多电机同步过程中的扰动分析 | 第49-50页 |
| 4.3 多电机同步控制策略分析 | 第50-53页 |
| 4.3.1 同步控制概述 | 第50页 |
| 4.3.2 同步控制的结构分析 | 第50-52页 |
| 4.3.3 同步控制策略 | 第52-53页 |
| 4.4 基于扰动补偿的同步控制策略 | 第53-57页 |
| 4.4.1 基于扰动补偿的同步控制结构 | 第53页 |
| 4.4.2 扰动观测器的参数设计 | 第53-54页 |
| 4.4.3 基于扰动补偿的同步控制仿真研究 | 第54-57页 |
| 4.5 负载动态补偿策略 | 第57-60页 |
| 4.5.1 X向负载扰动分析 | 第57-58页 |
| 4.5.2 X向负载扰动的动态补偿 | 第58-59页 |
| 4.5.3 基于动态负载扰动补偿的同步控制仿真研究 | 第59-60页 |
| 4.6 小结 | 第60-61页 |
| 第5章 宏动系统扰动抑制实验基础上的换台实现 | 第61-77页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 X向单电机定位过程中的扰动抑制实验 | 第61-65页 |
| 5.3 Y向多电机同步过程中的扰动抑制实验 | 第65-67页 |
| 5.4 双工件台换台的实现 | 第67-76页 |
| 5.4.1 换台过程中的多板卡通信的实现 | 第67-68页 |
| 5.4.2 换台过程中的多板卡同步控制的实现 | 第68-69页 |
| 5.4.3 换台过程中的多板卡同步读取光栅尺数据的实现 | 第69-70页 |
| 5.4.4 换台过程中的存储扩展的实现 | 第70-74页 |
| 5.4.5 换台的实际调试实现 | 第74-76页 |
| 5.5 小结 | 第76-77页 |
| 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
