| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 压力传感器的分类和应用 | 第9-11页 |
| 1.2.1 压阻式压力传感器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 电容式压力传感器 | 第10页 |
| 1.2.3 谐振式压力传感器 | 第10-11页 |
| 1.3 小量程压力传感器的研究背景 | 第11-13页 |
| 1.4 研究的目的与意义 | 第13-14页 |
| 1.5 论文的主要工作 | 第14-15页 |
| 第2章 压阻式压力传感器的原理 | 第15-22页 |
| 2.1 压阻效应原理及压阻系数 | 第15-17页 |
| 2.1.1 压阻效应原理 | 第15-16页 |
| 2.1.2 压阻系数 | 第16-17页 |
| 2.2 板壳理论 | 第17-19页 |
| 2.3 MEMS压阻式压力传感器的测量原理及响应特性 | 第19-21页 |
| 2.3.1 测量原理 | 第19页 |
| 2.3.2 压力传感器的输出电压 | 第19-20页 |
| 2.3.3 压力传感器的灵敏度 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 传感器结构设计及优化 | 第22-40页 |
| 3.1 压力敏感结构设计 | 第22-23页 |
| 3.2 压力敏感结构的尺寸设计 | 第23-30页 |
| 3.2.1 膜片尺寸对非线性的影响 | 第23-25页 |
| 3.2.2 感压膜片尺寸设计 | 第25-29页 |
| 3.2.3 应变电阻的设计 | 第29-30页 |
| 3.3 过载能力分析 | 第30-36页 |
| 3.3.1 敏感结构尺寸对多晶硅抗拉强度的影响 | 第31-32页 |
| 3.3.2 敏感结构尺寸与过载能力之间的关系 | 第32-34页 |
| 3.3.3 讨论 | 第34-36页 |
| 3.4 响应特性 | 第36-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 压力敏感结构工艺过程研究 | 第40-52页 |
| 4.1 关键的工艺技术 | 第40-44页 |
| 4.1.1 SOI技术 | 第40-41页 |
| 4.1.2 化学气相淀积 | 第41-43页 |
| 4.1.3 直接键合技术 | 第43-44页 |
| 4.2 压力敏感结构的工艺流程 | 第44-48页 |
| 4.3 版图设计 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 在学研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |