工件台宏微控制算法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8-10页 |
| ·国内外光刻技术与光刻机研究现状 | 第10-13页 |
| ·国外光刻技术研究现状 | 第10-11页 |
| ·国内光刻技术发展现状 | 第11-13页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第13-15页 |
| 第2章 工件台控制系统模型建立 | 第15-26页 |
| ·光刻机整体构成 | 第15-18页 |
| ·控制系统耦合模型建立 | 第18-21页 |
| ·建立含气浮阻尼力的模型 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 宏微控制中耦合作用算法研究 | 第26-38页 |
| ·控制策略概述 | 第26-27页 |
| ·耦合系统状态空间模型建立 | 第27-28页 |
| ·极点配置 | 第28-31页 |
| ·极点配置方法的设计准则 | 第28页 |
| ·极点配置仿真研究 | 第28-31页 |
| ·回路传输恢复的LQG控制器的设计 | 第31-37页 |
| ·LQG控制器的设计 | 第31-32页 |
| ·回路传输恢复（LTR）方法 | 第32-34页 |
| ·LQG/LTR算法仿真研究 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 宏微控制中气浮阻尼作用算法研究 | 第38-53页 |
| ·滑模变结构控制概述 | 第38-42页 |
| ·滑模变结构控制的基本原理 | 第39-40页 |
| ·滑模变结构控制中的抖振问题 | 第40-42页 |
| ·滑模变结构设计 | 第42-46页 |
| ·仿真分析 | 第46-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 影响精度的因素及解决方法 | 第53-60页 |
| ·影响控制精度的因素 | 第53页 |
| ·温度因素 | 第53-58页 |
| ·解决办法 | 第54页 |
| ·控制方法验证 | 第54-58页 |
| ·振动因素 | 第58-59页 |
| ·振动来源及解决方法 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录 | 第65-67页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
