自动批量化MEMS加速度传感器测试装置设计研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第10-15页 |
| ·MEMS 加速度传感器的发展现状 | 第10-12页 |
| ·MEMS 加速度传感器测试的发展现状 | 第12-15页 |
| ·论文的主要研究内容及章节安排 | 第15-17页 |
| 第二章 测试装置总体结构设计 | 第17-38页 |
| ·测试装置的总体设计要求 | 第17-18页 |
| ·测试装置的工作原理 | 第18-21页 |
| ·加速度传感器重力场翻滚试验原理 | 第18-19页 |
| ·加速度传感器振动试验 | 第19-21页 |
| ·测试装置机械结构的总体设计方案 | 第21-23页 |
| ·静态测试部分结构设计 | 第23-32页 |
| ·加速度传感器载体的设计 | 第24页 |
| ·翻滚驱动机构的设计 | 第24-28页 |
| ·水平驱动机构的设计 | 第28-31页 |
| ·竖直升降机构的设计 | 第31-32页 |
| ·动态测试部分结构设计 | 第32-33页 |
| ·测试装置结构分析 | 第33-37页 |
| ·干涉检查 | 第34页 |
| ·关键零部件的有限元分析 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 测试装置控制系统设计 | 第38-51页 |
| ·控制系统整体分析 | 第38页 |
| ·控制器的选择 | 第38-42页 |
| ·测试装置控制系统的总体设计 | 第42-44页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第44-47页 |
| ·计算机与 PLC 通信方式选择 | 第44页 |
| ·PLC 控制步进电机电路 | 第44-46页 |
| ·光电限位开关的设计 | 第46-47页 |
| ·控制系统软件设计 | 第47-50页 |
| ·PLC 程序设计 | 第47-49页 |
| ·FX2N-20GM 程序设计 | 第49页 |
| ·倾斜角度实时监测软件 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 实验与系统调试 | 第51-55页 |
| ·测试装置系统调试 | 第51-53页 |
| ·测试装置机械结构装配调试 | 第51页 |
| ·测试装置控制系统调试 | 第51-52页 |
| ·问题及解决办法 | 第52-53页 |
| ·误差分析 | 第53-54页 |
| ·测试结果分析 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 附录：机加零件加工图 | 第57-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
