光刻机掩模台动力学建模与分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题的来源、背景和意义 | 第8-9页 |
| ·光刻机与工件台研究现状 | 第9-11页 |
| ·多刚体系统动力学的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文主要研究内容 | 第12页 |
| ·本文结构安排 | 第12-14页 |
| 2 掩模台系统的结构及建模策略 | 第14-20页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·掩模台系统结构与简化 | 第14-18页 |
| ·掩模台系统的建模策略 | 第18-19页 |
| ·小结 | 第19-20页 |
| 3 掩模台子结构离散建模 | 第20-32页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·多刚体离散元法 | 第20-24页 |
| ·掩模台子结构多刚体离散 | 第24-29页 |
| ·模型实验验证 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 4 关键连接件动力学参数辨识 | 第32-41页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·气浮轴承参数辨识 | 第32-38页 |
| ·空气弹簧隔振器参数辨识 | 第38-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 5 掩模台整机仿真分析与优化 | 第41-52页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·掩模台 ADAMS 仿真模型 | 第41页 |
| ·模态分析与优化 | 第41-46页 |
| ·步进运动中的俯仰振动分析 | 第46-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 6 总结与展望 | 第52-54页 |
| ·全文总结 | 第52-53页 |
| ·研究展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第59页 |
