| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-19页 |
| ·气敏传感器研究意义及发展 | 第7-8页 |
| ·SnO_2 气敏机理简介 | 第8-11页 |
| ·SnO_2 气敏薄膜研究现状 | 第11-15页 |
| ·气敏传感器的发展趋势 | 第15-17页 |
| ·课题的提出及研究内容 | 第17-19页 |
| 2 溶胶-凝胶法制备纯SnO_2气敏薄膜及性能研究 | 第19-35页 |
| ·溶胶-凝胶法简介 | 第19-21页 |
| ·溶胶凝胶法制备纯SnO_2 气敏薄膜 | 第21-25页 |
| ·溶胶凝胶法制备气敏薄膜性能分析 | 第25-32页 |
| ·SnO_2 半导化对气敏性能的影响 | 第32-35页 |
| 3 SnO_2基H_2S 气敏薄膜掺杂及工艺研究 | 第35-45页 |
| ·CuO 掺杂对H_2S 气敏性能的影响 | 第35-37页 |
| ·热处理温度对H_2S 气敏性能的影响 | 第37-42页 |
| ·薄膜的响应恢复特性 | 第42-45页 |
| 4 SnO_2基CO 气敏薄膜初探 | 第45-52页 |
| ·PdO 掺杂对CO 气敏性能的影响 | 第45-49页 |
| ·In_2O_3 掺杂对CO 气敏性能的影响 | 第49-52页 |
| 5 结果结论 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60页 |