微电子器件硅衬底表面污染物去除技术的研究
| 第一章 绪论 | 第1-15页 |
| §1-1 清洗技术的发展阶段 | 第8页 |
| §1-2 清洗的重点 | 第8-11页 |
| 1-2-1 颗粒问题 | 第8-10页 |
| 1-2-2 有机物问题 | 第10页 |
| 1-2-3 金属离子问题 | 第10-11页 |
| 1-2-4 自然氧化层问题 | 第11页 |
| §1-3 清洗技术的研究现状 | 第11-13页 |
| 1-3-1 清洗效果研究 | 第11-12页 |
| 1-3-2 污染物的形成机理与动力学研究 | 第12页 |
| 1-3-3 微观粗糙化研究 | 第12页 |
| 1-3-4 兆频声作用的研究 | 第12页 |
| 1-3-5 最新动态 | 第12-13页 |
| §1-4 硅片清洗技术存在的问题与发展方向 | 第13-14页 |
| §1-5 本课题完成的任务 | 第14-15页 |
| 第二章 清洗的基本理论 | 第15-30页 |
| §2-1 硅片的表面状态 | 第15页 |
| §2-2 硅片表面的污染 | 第15-19页 |
| 2-2-1 硅片表面沾污的分类 | 第15-16页 |
| 2-2-2 颗粒的污染 | 第16-19页 |
| §2-3 吸附理论 | 第19-22页 |
| 2-3-1 颗粒吸附状态 | 第19-20页 |
| 2-3-2 优先吸附模型 | 第20-22页 |
| §2-4 表面活性剂 | 第22-30页 |
| 2-4-1 表面活性剂简介 | 第22页 |
| 2-4-2 表面活性剂水溶液的性质 | 第22-25页 |
| 2-4-3 表面活性剂的机理 | 第25-26页 |
| 2-4-4 表面活性剂的选择 | 第26-28页 |
| 2-4-5 选用的表面活性剂简介 | 第28-30页 |
| 第三章 清洗的常用方法与技术 | 第30-40页 |
| §3-1 溶液浸泡法 | 第30页 |
| §3-2 机械擦洗法 | 第30-31页 |
| §3-3 超声波清洗技术 | 第31-34页 |
| 3-3-1 超声清洗设备的构成 | 第31-32页 |
| 3-3-2 超声换能器 | 第32-33页 |
| 3-3-3 影响超声清洗效果的因素 | 第33-34页 |
| §3-4 兆声波清洗技术 | 第34-36页 |
| 3-4-1 兆声清洗液的作用机理 | 第35页 |
| 3-4-2 表面活性剂产生上述作用的原因 | 第35-36页 |
| §3-5 激光清洗技术 | 第36-38页 |
| 3-5-1 激光清洗原理 | 第37页 |
| 3-5-2 激光清洗的特点 | 第37页 |
| 3-5-3 激光清洗的应用 | 第37-38页 |
| §3-6 等离子体清洗技术 | 第38页 |
| §3-7 汽相清洗技术 | 第38-39页 |
| §3-8 束流清洗技术 | 第39-40页 |
| 第四章 Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ号液的替代技术的实验研究 | 第40-48页 |
| §4-1 Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ号液的特点分析 | 第40-41页 |
| 4-1-1 Ⅰ号液 | 第40-41页 |
| 4-1-2 Ⅱ号液 | 第41页 |
| 4-1-3 Ⅲ号液 | 第41页 |
| §4-2 清洗的原理的分析及新方案的确立 | 第41-43页 |
| 4-2-1 对Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ号液改进技术的分析 | 第41-42页 |
| 4-2-2 替代清洗的原理分析 | 第42-43页 |
| 4-2-3 选用非离子表面活性剂 | 第43页 |
| 4-2-4 选用整合剂 | 第43页 |
| §4-3 实验过程及结果分析 | 第43-47页 |
| 4-3-1 活性剂浓度对PH值的影响 | 第43页 |
| 4-3-2 复合试剂浓度对溶液PH值的影响 | 第43-45页 |
| 4-3-3 温度对溶液PH值的影响 | 第45-46页 |
| 4-3-4 超声时间长短对清洗效果的影响 | 第46-47页 |
| 4-3-5 多次超声对清洗效果的影响 | 第47页 |
| §4-4 结论 | 第47-48页 |
| 第五章 硅研磨片超声波清洗的实验研究 | 第48-52页 |
| §5-1 对磨片表面状态及杂质沾污的理论分析 | 第48页 |
| §5-2 实验 | 第48-51页 |
| 5-2-1 实验设备及实验所用试剂 | 第48页 |
| 5-2-2 实验过程分析 | 第48-51页 |
| §5-3 实验结论 | 第51-52页 |
| 第六章 提高液晶显示屏的清洗效率的研究 | 第52-59页 |
| §6-1 液晶显示屏清洗的意义 | 第52页 |
| §6-2 液晶的清洗 | 第52-53页 |
| 6-2-1 清洗的概念和方法介绍 | 第52页 |
| 6-2-2 液晶显示屏的清洗 | 第52-53页 |
| §6-3 液晶显示屏清洗技术的进一步研究 | 第53-54页 |
| 6-3-1 理论基础 | 第53页 |
| 6-3-2 实验所用设备及试剂 | 第53-54页 |
| §6-4 实验过程及其观察结果 | 第54-58页 |
| 6-4-1 清洗液的制备 | 第54页 |
| 6-4-2 实验过程及结果 | 第54-58页 |
| §6-5 结论 | 第58-59页 |
| 第七章 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第64页 |
