大面积高分辨率数字X射线探测器关键技术的研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
1 绪论	第10-24页
·X射线探测器技术发展概述	第11-16页
·本系统中X射线探测器的结构	第16-20页
·当前需要研究的两项关键技术	第20-22页
·本论文研究的内容及意义	第22-24页
2 像素化X射线转换屏的制作	第24-54页
·X射线转换屏的像素化与光助电化学刻蚀法	第24-30页
·大面积硅片光助电化学刻蚀中存在的问题	第30-39页
·新型大面积硅片光助电化学刻蚀装置	第39-44页
·深孔阵列和深槽阵列的制作	第44-50页
·像素化X射线转换屏制作的后续工艺	第50-53页
·本章小结	第53-54页
3 数据采集系统的总体设计和硬件实现	第54-84页
·总体设计	第54-60页
·电路原理图设计	第60-73页
·PCB板图设计	第73-83页
·本章小结	第83-84页
4 数据采集系统的FPGA和软件实现	第84-120页
·数据采集系统的FGPA设计	第84-106页
·数据采集系统的软件设计	第106-111页
·参数可调整数据采集系统的实现	第111-119页
·本章小结	第119-120页
5 总结	第120-123页
·已取得的进展	第120-121页
·下一步工作介绍	第121-123页
致谢	第123-124页
参考文献	第124-138页
附录1 攻读博士学位期间发表论文目录	第138页