化学气相沉积法生长石墨烯的CFD模拟研究
摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第一章 研究背景介绍 | 第10-18页 |
1.1 石墨烯简介 | 第10-11页 |
1.2 石墨烯制备的方法 | 第11-13页 |
1.3 CFD模拟CVD制备石墨烯的研究背景 | 第13-16页 |
1.4 小结 | 第16-18页 |
第二章 理论研究方法介绍 | 第18-34页 |
2.1 计算流体力学简介 | 第18-19页 |
2.2 计算流体力学基本方程组 | 第19-22页 |
2.2.1 守恒方程的通用形式 | 第19-20页 |
2.2.2 控制方程组 | 第20页 |
2.2.3 初始条件和边界条件 | 第20-22页 |
2.3 计算流体力学的计算过程 | 第22-27页 |
2.3.1 总体的求解过程 | 第22页 |
2.3.2 建立控制方程及确定边界条件和初始条件 | 第22页 |
2.3.3 建立几何模型及划分网格 | 第22-24页 |
2.3.4 选择离散方法和建立离散方程组 | 第24-27页 |
2.3.5 流场数值算法 | 第27页 |
2.3.6 判断收敛性和输出结果 | 第27页 |
2.4 CFD常用软件包FLUENT简介 | 第27-29页 |
2.4.1 网格划分 | 第28-29页 |
2.5 CVD系统中的边界层理论 | 第29-34页 |
2.5.1 边界层 | 第29页 |
2.5.2 CVD一般过程 | 第29-34页 |
第三章 CVD生长石墨烯的CFD模拟研究 | 第34-62页 |
3.1 引言 | 第34页 |
3.2 压强对CVD生长石墨烯的影响 | 第34-52页 |
3.2.1 模型的建立和参数的设置 | 第34-39页 |
3.2.2 模拟计算结果和分析 | 第39-52页 |
3.2.3 结论 | 第52页 |
3.3 气相反应对CVD生长石墨烯的影响 | 第52-62页 |
3.3.1 模型的建立和参数设置 | 第52-55页 |
3.3.2 模拟计算结果与分析 | 第55-60页 |
3.3.3 结论 | 第60-62页 |
第四章 总结与展望 | 第62-64页 |
参考文献 | 第64-68页 |
致谢 | 第68页 |