| 目录 | 第2-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第6-13页 |
| 1.1 论文的背景 | 第8-9页 |
| 1.2 论文的内容和意义 | 第9-11页 |
| 1.2.1 论文的主要研究内容 | 第9-10页 |
| 1.2.2 论文课题的意义 | 第10-11页 |
| 1.3 论文课题的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.4 论文结构 | 第12-13页 |
| 第二章 半导体集成电路设备INTERFACE A的相关概念与技术 | 第13-37页 |
| 2.1 半导体集成电路设备的工厂自动化介绍 | 第14-20页 |
| 2.1.1 半导体工厂自动化及主要自动化标准 | 第14-18页 |
| 2.1.2 半导体工厂自动化标准应用现状 | 第18-19页 |
| 2.1.3 半导体工厂自动化发展历史及趋势 | 第19-20页 |
| 2.2 半导体工厂自动化INTERFACE A相关概念及理论 | 第20-27页 |
| 2.2.1 SEMI标准E120通用设备模型 | 第21-24页 |
| 2.2.2 SEMI标准E125设备自我表征 | 第24页 |
| 2.2.3 SEMI标准E1132客户端认证与授权 | 第24-26页 |
| 2.2.4 SEMI标准E134数据采集方案管理 | 第26-27页 |
| 2.3 WEB SERVICE概述 | 第27-34页 |
| 2.3.1 Web Service技术简介 | 第27-28页 |
| 2.3.2 XML技术简介 | 第28-29页 |
| 2.3.3 SOAP技术简介 | 第29-33页 |
| 2.3.4 WSDL技术简介 | 第33-34页 |
| 2.4 HTTPS与SSL | 第34-37页 |
| 2.4.1 HTTP/HTTPS技术简介 | 第34-35页 |
| 2.4.2 SSL简介 | 第35-37页 |
| 第三章 半导体集成电路设备INTERFACE A需求分析与系统架构 | 第37-45页 |
| 3.1 系统需求分析 | 第37-41页 |
| 3.1.1 系统目标 | 第37-38页 |
| 3.1.2 系统的功能性需求 | 第38-39页 |
| 3.1.3 系统工作流程描述 | 第39-41页 |
| 3.2 系统总体架构设计 | 第41-45页 |
| 3.2.1 系统整体架构 | 第41-43页 |
| 3.2.2 系统功能组件及结构设计 | 第43-45页 |
| 第四章 半导体集成电路设备INTERFACE A详细设计和实现 | 第45-60页 |
| 4.1 通用设备模型的建立 | 第45-47页 |
| 4.2 设备自我表征的实现 | 第47-50页 |
| 4.3 客户端身份验证及授权的实现 | 第50-55页 |
| 4.3.1 SEMI E132用户身份认证接口 | 第50-52页 |
| 4.3.2 SEMI E132用户的授权接口 | 第52-55页 |
| 4.4 客户端数据采集方案管理实现 | 第55-60页 |
| 第五章 结论 | 第60-64页 |
| 5.1 总结 | 第60-62页 |
| 5.1.1 Interface A与SECS/GEM的相同概念 | 第60页 |
| 5.1.2 Interface A与SECS/GEM的区别 | 第60-61页 |
| 5.1.3 Interface A的主要特性 | 第61-62页 |
| 5.2 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
