深紫外光刻投影物镜热像差仿真与主动补偿技术研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-23页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第23-31页 |
| 1.2.1 光刻投影物镜的国内外发展现状 | 第23-24页 |
| 1.2.2 光刻投影物镜热效应 | 第24-25页 |
| 1.2.3 热像差补偿技术研究现状 | 第25-31页 |
| 1.3 论文主要研究内容和结构安排 | 第31-33页 |
| 1.3.1 论文主要研究内容 | 第31-32页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第32-33页 |
| 第2章 光刻投影物镜系统及波像差 | 第33-49页 |
| 2.1 光刻投影物镜系统 | 第33-37页 |
| 2.2 像质评价 | 第37-47页 |
| 2.2.1 波像差与分辨率； | 第38-40页 |
| 2.2.2 Zernike多项式与波像差 | 第40-46页 |
| 2.2.3 光刻投影物镜波像差 | 第46-47页 |
| 2.3 本章小结 | 第47-49页 |
| 第3章 NA0.75 光刻投影物镜热效应分析 | 第49-91页 |
| 3.1 引言 | 第49-50页 |
| 3.2 光刻投影物镜曝光参数 | 第50-54页 |
| 3.2.1 照明模式 | 第50-51页 |
| 3.2.2 掩模图案 | 第51-53页 |
| 3.2.3 光刻工况 | 第53-54页 |
| 3.3 光刻投影物镜热分析参数 | 第54-59页 |
| 3.3.1 物理分析模型 | 第54页 |
| 3.3.2 系统光照度分析 | 第54-56页 |
| 3.3.3 有限元分析模型 | 第56-58页 |
| 3.3.4 热分析边界条件 | 第58-59页 |
| 3.4 光刻投影物镜温度分布模型 | 第59-74页 |
| 3.4.1 偶极照明模式下热分析结果 | 第60-61页 |
| 3.4.2 偶极照明温度分布数学模型 | 第61-66页 |
| 3.4.3 温度分布模型推广 | 第66-72页 |
| 3.4.4 温度时间分布模型 | 第72-74页 |
| 3.5 热像差分布 | 第74-89页 |
| 3.5.1 折射率改变引起的像差 | 第77-86页 |
| 3.5.2 热变形引起的像差 | 第86-87页 |
| 3.5.3 热应力引起的像差 | 第87-89页 |
| 3.6 热像差仿真结果评估 | 第89-90页 |
| 3.7 本章小结 | 第90-91页 |
| 第4章 光刻投影物镜热像差主动补偿方案 | 第91-103页 |
| 4.1 引言 | 第91页 |
| 4.2 主动补偿理论 | 第91-93页 |
| 4.2.1 主动光学技术 | 第91-92页 |
| 4.2.2 光刻投影物镜像差主动补偿原理 | 第92-93页 |
| 4.3 像差灵敏度 | 第93-95页 |
| 4.4 变形镜波前求解 | 第95-101页 |
| 4.5 本章小结 | 第101-103页 |
| 第5章 主动透镜像差特性分析 | 第103-123页 |
| 5.1 引言 | 第103页 |
| 5.2 主动变形平板透镜变形特性分析 | 第103-113页 |
| 5.2.1 平板物理和几何参数 | 第105页 |
| 5.2.2 支撑方式和促动器分布 | 第105-106页 |
| 5.2.3 平板变形与各参数关系 | 第106-113页 |
| 5.3 主动变形平板透镜像差特性分析 | 第113-117页 |
| 5.3.1 表面变形产生的波像差 | 第113-116页 |
| 5.3.2 应力对波前的影响 | 第116-117页 |
| 5.4 系统像差补偿能力 | 第117-122页 |
| 5.5 本章小结 | 第122-123页 |
| 第6章 主动平板透镜像差检测实验 | 第123-133页 |
| 6.1 实验方案设计 | 第123-124页 |
| 6.2 实验装置及参数 | 第124-126页 |
| 6.3 实验数据处理 | 第126-130页 |
| 6.4 误差来源分析 | 第130-131页 |
| 6.5 本章小结 | 第131-133页 |
| 第7章 总结与展望 | 第133-137页 |
| 7.1 本文主要工作和结论 | 第133-134页 |
| 7.2 本文创新之处 | 第134-135页 |
| 7.3 本文不足及展望 | 第135-137页 |
| 参考文献 | 第137-147页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第147-148页 |
| 指导教师及作者简介 | 第148-149页 |
| 致谢 | 第149-150页 |
