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PMMA集成毛细管电泳芯片制作工艺研究

摘要第6-8页
Abstract第8页
目录第10-13页
第一章 绪论第13-43页
    1.1 集成毛细管电泳芯片的提出及意义第13-15页
    1.2 ICEC的研究进展第15-40页
        1.2.1 ICEC的结构第15-19页
        1.2.2 ICEC的进样方式第19-21页
        1.2.3 ICEC的材料及制作工艺第21-29页
        1.2.4 ICEC的分离物检测方法第29-38页
        1.2.5 ICEC的应用第38-40页
    1.3 ICEC的国内外研究机构第40-42页
    1.4 本文的研究内容第42-43页
第二章 PMMA集成毛细管电泳芯片热压工艺研究第43-69页
    2.1 引言第43-44页
    2.2 热压成形机理研究第44-49页
    2.3 微沟道成形工艺研究第49-58页
        2.3.1 微通道结构及尺寸设计第49页
        2.3.2 光掩膜板的制作第49-51页
        2.3.3 硅模板的制作第51-53页
        2.3.4 热压PMMA基片第53-58页
        2.3.5 微沟道的测量第58页
    2.4 微沟道热压实验的结果与讨论第58-67页
        2.4.1 硅模板的使用寿命第58-59页
        2.4.2 热压工艺参数优化第59-67页
    2.5 微沟道热压成形的有限元分析第67页
    2.6 本章小结第67-69页
第三章 PMMA集成毛细管电泳芯片热键合工艺研究第69-79页
    3.1 引言第69页
    3.2 芯片热键合工艺研究第69-73页
        3.2.1 芯片键合前的准备第69页
        3.2.2 芯片键合第69-72页
        3.2.3 芯片的微沟道尺寸测量及键合强度测定第72-73页
    3.3 芯片热键合工艺实验的结果与讨论第73-75页
    3.4 芯片热键合的有限元分析第75-76页
    3.5 芯片应用于电泳的分析实验第76-78页
    3.6 本章小结第78-79页
第四章 PMMA芯片与石英毛细管间的最小死体积连接第79-90页
    4.1 引言第79-80页
    4.2 死体积影响电泳分析的原理研究第80-81页
    4.3 芯片与毛细管的连接工艺第81-84页
        4.3.1 连接毛细管的芯片制作第81页
        4.3.2 芯片上连接孔的加工第81-83页
        4.3.3 毛细管的连接第83-84页
    4.4 芯片与毛细管连接工艺的优化第84-85页
        4.4.1 死体积的计算第84页
        4.4.2 连接孔加工工序的编排第84-85页
    4.5 带有石英毛细管的芯片应用于电泳的分析实验第85-89页
        4.5.1 维生素B_2的电泳分析第85-86页
        4.5.2 联磺甲氧苄啶片的电泳分析第86-88页
        4.5.3 冬虫夏草中的三种核苷类成分的电泳分析第88-89页
    4.6 本章小结第89-90页
第五章 集成铜电极的PMMA毛细管电泳芯片的制作第90-107页
    5.1 引言第90页
    5.2 集成铜电极的毛细管电泳芯片的制作工艺研究第90-95页
        5.2.1 基片的制作第90-91页
        5.2.2 盖片上铜电极的制作第91页
        5.2.3 基片与盖片的键合第91-95页
    5.3 集成铜电极的芯片制作工艺优化第95-101页
        5.3.1 铜电极制作工艺的优化第95-96页
        5.3.2 集成铜电极的PMMA电泳芯片热键合工艺参数的优化第96-101页
    5.4 集成铜电极的芯片应用于电泳的分析实验第101-105页
        5.4.1 标准葡萄糖溶液的电泳分析第101-104页
        5.4.2 氨基酸的电泳分析第104-105页
    5.5 本章小结第105-107页
第六章 总结与展望第107-109页
    6.1 全文总结第107-108页
    6.2 后续工作展望第108-109页
创新点摘要第109-110页
致谢第110-111页
作者在攻读博士学位期间公开发表的论文及申请专利情况第111-112页
参考文献第112-131页

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