| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 光刻机及其双工件台系统国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 滑模控制理论国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 光刻机双工件台系统分析 | 第16-27页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 双工件台整体结构及工作原理 | 第16-18页 |
| 2.2.1 双工件台的结构介绍 | 第16-17页 |
| 2.2.2 双工件台工作原理 | 第17-18页 |
| 2.3 双工件台系统换台设计及性能指标 | 第18-20页 |
| 2.4 双工件台运动轨迹规划 | 第20-23页 |
| 2.5 双工件台宏微执行机构概述 | 第23-26页 |
| 2.5.1 永磁同步直线电机 | 第23-24页 |
| 2.5.2 音圈电机 | 第24-25页 |
| 2.5.3 公自转电机 | 第25-26页 |
| 2.6 小结 | 第26-27页 |
| 第3章 工件台宏动系统的积分滑模控制 | 第27-42页 |
| 3.1 引言 | 第27-28页 |
| 3.2 双工件台宏动部分解耦及控制系统建模 | 第28-31页 |
| 3.2.1 工件台宏动部分解耦运算 | 第28-30页 |
| 3.2.2 工件台宏动系统单自由度运动建模 | 第30-31页 |
| 3.3 滑模控制简介 | 第31-33页 |
| 3.3.1 滑模控制器的基本概念 | 第32-33页 |
| 3.3.2 滑模控制方法的抖振抑制 | 第33页 |
| 3.4 工件台积分滑模控制 | 第33-38页 |
| 3.4.1 基于工件台宏动SISO解耦模型的积分滑模控制 | 第33-36页 |
| 3.4.2 积分滑模控制器参数整定 | 第36-38页 |
| 3.5 仿真及验证 | 第38-41页 |
| 3.6 小结 | 第41-42页 |
| 第4章 工件台宏动系统的二阶滑模控制 | 第42-54页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 双工件台系统的二阶滑模控制 | 第42-47页 |
| 4.2.1 二阶滑模控制器设计 | 第42-44页 |
| 4.2.2 仿真及验证 | 第44-47页 |
| 4.3 基于自适应前馈和二阶滑模的复合控制 | 第47-53页 |
| 4.3.1 前馈控制简介 | 第47-48页 |
| 4.3.2 基于PD控制的加速度前馈控制器设计 | 第48-49页 |
| 4.3.3 自适应加速度前馈控制器设计 | 第49-50页 |
| 4.3.4 仿真及验证 | 第50-53页 |
| 4.4 小结 | 第53-54页 |
| 第5章 双工件台系统控制试验研究 | 第54-64页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 双工件台控制系统的搭建及设计 | 第54-59页 |
| 5.2.1 多板卡通信设计 | 第54-57页 |
| 5.2.2 从控制板卡内部通信设计 | 第57-58页 |
| 5.2.3 整体试验系统搭建 | 第58-59页 |
| 5.3 宏动台单电机积分滑模控制试验 | 第59-61页 |
| 5.4 宏动台单电机改进的滑模控制试验 | 第61-63页 |
| 5.4.1 二阶滑模控制试验 | 第61-62页 |
| 5.4.2 自适应前馈二阶滑模控制试验 | 第62-63页 |
| 5.5 小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |