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硅衬底GaN基LED钝化层与P面欧姆接触的研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 综述第8-26页
   ·引言第8-9页
   ·GAN的基本晶体结构参数第9-11页
   ·GAN多量子阱LED的电学性质第11-12页
     ·pn结的电子空穴注入第11-12页
   ·GAN多量子阱LED的光学性质第12-13页
     ·内量子效率第12页
     ·外量子效率第12-13页
     ·主波长,峰值波长,光通量第13页
   ·P型欧姆接触第13-16页
     ·P型欧姆接触原理第13-15页
     ·P型欧姆接触的研究现状第15-16页
   ·钝化层第16-20页
     ·钝化层的必要性第16-17页
     ·钝化层的生长方法第17-18页
     ·钝化层的研究现状第18-20页
       ·化层应力的相关研究第18-19页
       ·钝化层的增透性的相关研究第19页
       ·钝化层增强LED的稳定性能第19-20页
   ·本论文的研究内容第20页
 参考文献第20-26页
第二章 SION薄膜的性能以及对LED外量子效率的研究第26-33页
   ·PECVD参数对SION薄膜性能的影响第26-30页
     ·实验第26-27页
     ·结果与讨论第27-30页
     ·结论第30页
   ·SION薄膜提高LED外量子效率的影响第30-31页
     ·实验第30-31页
     ·结果与讨论第31页
     ·结论第31页
   ·小结第31-32页
 参考文献第32-33页
第三章 SION钝化层对蓝绿光GAN基LED老化性能的研究第33-56页
   ·特大电流密度老化对不同SION钝化层绿光LED性能的影响第33-41页
     ·实验第33-34页
     ·结果与讨论第34-41页
     ·结论第41页
   ·不同电流老化对有无钝化层绿光LED光电性能的影响第41-45页
     ·实验第41-42页
     ·结果与讨论第42-45页
     ·结论第45页
   ·不同电流老化对有无钝化层蓝光LED光电性能的影响第45-49页
     ·实验第45-46页
     ·结果与讨论第46-48页
     ·结论第48-49页
   ·老化温度对有无钝化层蓝光LED性能的影响第49-51页
     ·实验第49页
     ·结果与讨论第49-51页
     ·结论第51页
   ·蓝绿光有无钝化层LEDs的性能对比第51-53页
     ·实验第51-52页
     ·结果与讨论第52-53页
     ·结论第53页
   ·小结第53-54页
 参考文献第54-56页
第四章 合金条件对P电极光电性能的影响第56-70页
   ·退火温度以及MG激活条件对于P电极反射率的影响第56-60页
     ·实验第56-57页
     ·结果与讨论第57-60页
     ·结论第60页
   ·退火温度与MG激活条件对于P电极Ⅳ特性的影响第60-68页
     ·实验第60-61页
     ·结果与讨论第61-67页
     ·结论第67-68页
   ·小结第68页
 参考文献第68-70页
第5章 结论第70-71页
致谢第71-72页
攻读硕士学位期间已发表的论文第72页

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