| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| ·MEMS传感器的概述 | 第11-16页 |
| ·MEMS传感器的产生和发展 | 第11-12页 |
| ·MEMS传感器的分类 | 第12-14页 |
| ·MEMS传感器的应用及前景 | 第14-16页 |
| ·MEMS电容式加速度传感器 | 第16-18页 |
| ·MEMS电容式加速度计的描述 | 第16-17页 |
| ·MEMS电容式加速度计发展现状 | 第17-18页 |
| ·本论文研究目的 | 第18-19页 |
| ·本论文主要研究内容及工作安排 | 第19-20页 |
| 第2章 电容式传感器基础 | 第20-31页 |
| ·电容式传感器的基本原理 | 第20-23页 |
| ·变面积式 | 第21-22页 |
| ·变间距式 | 第22-23页 |
| ·电容式加速度传感器的建模 | 第23-26页 |
| ·电容式加速计动态模型 | 第24-25页 |
| ·弹性梁结构模型 | 第25-26页 |
| ·MEMS传感器噪声 | 第26-29页 |
| ·机械噪声 | 第26页 |
| ·电路噪声 | 第26-27页 |
| ·阻尼分析 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 MEMS梳齿电容式传感器设计 | 第31-48页 |
| ·吸合驱动器的设计 | 第32-34页 |
| ·单双边静态驱动性能比较 | 第34-39页 |
| ·单边驱动 | 第34-36页 |
| ·双边驱动 | 第36-38页 |
| ·双边带力反馈驱动 | 第38-39页 |
| ·槽型电极板的设计 | 第39-42页 |
| ·槽型电极板的结构 | 第39-40页 |
| ·槽型极板的噪声分析及最小间距的优化 | 第40-42页 |
| ·电容器件的整体结构设计 | 第42-45页 |
| ·梳栅形电极的设计 | 第42页 |
| ·弹性梁的设计 | 第42-43页 |
| ·器件结构简图 | 第43-44页 |
| ·器件的具体参数 | 第44-45页 |
| ·新型器件与常规平板电容加速计性能比较 | 第45-46页 |
| ·新型器件的总体性能 | 第45-46页 |
| ·常规器件不带吸合驱动的性能 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 MEMS梳齿电容式传感器性能分析 | 第48-66页 |
| ·梳齿电容极板的边缘效应分析 | 第48-50页 |
| ·平行极板电容的边缘效应 | 第48-49页 |
| ·梳齿电容极板的边缘效应分析 | 第49-50页 |
| ·槽型梳齿电容极板的边缘效应 | 第50-53页 |
| ·修正的电容公式 | 第50-51页 |
| ·槽间距的优化 | 第51-52页 |
| ·槽深宽的优化 | 第52-53页 |
| ·新型器件的动态性能仿真 | 第53-59页 |
| ·常规电容加速计的动态性能模拟 | 第53-56页 |
| ·新型加速计的开环电路模拟 | 第56-57页 |
| ·新型加速计的闭环电路模拟 | 第57-59页 |
| ·脉冲响应下带力反馈与不带反馈性能比较 | 第59页 |
| ·考虑边缘效应时闭环电路模拟 | 第59-61页 |
| ·新型器件的模态分析 | 第61-63页 |
| ·驱动器的模态分析 | 第63-65页 |
| ·模态分析 | 第63页 |
| ·倾斜效应分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 基于MEMS的槽型梳齿电容式传感器的版图设计及工艺制作 | 第66-73页 |
| ·新型器件的版图设计 | 第66-68页 |
| ·MEMS器件加工工艺及常见问题 | 第68-71页 |
| ·MEMS制造技术 | 第68-69页 |
| ·新型器件的工艺步骤 | 第69-70页 |
| ·制作工艺中应该注意的问题 | 第70-71页 |
| ·器件制作初步结果 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·论文总结 | 第73-74页 |
| ·论文中的不足和展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 附录 | 第80页 |