| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·MEMS加速度传感器概述 | 第11-12页 |
| ·电容式微加速度传感器 | 第12-15页 |
| ·平板电容加速度传感器 | 第13页 |
| ·梳状叉指电容加速度传感器 | 第13-14页 |
| ·电容检测电路 | 第14-15页 |
| ·MEMS微传感器驱动方式 | 第15-18页 |
| ·静电驱动 | 第15-16页 |
| ·电磁驱动 | 第16-17页 |
| ·热驱动 | 第17页 |
| ·其他驱动 | 第17-18页 |
| ·三维微加速度传感器概述 | 第18-19页 |
| ·论文主要内容 | 第19-21页 |
| 第2章 加速度传感器的结构设计和性能分析 | 第21-39页 |
| ·不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析 | 第21-28页 |
| ·检测电容结构 | 第21页 |
| ·三种检测电容结构及参数设定 | 第21-24页 |
| ·性能分析比较 | 第24-27页 |
| ·实例分析比较 | 第27-28页 |
| ·加速度传感器的工作原理和结构设计 | 第28-31页 |
| ·电磁驱动增大检测电容加速度传感器工作原理 | 第28-29页 |
| ·加速度传感器的结构设计 | 第29-31页 |
| ·加速度传感器的结构性能分析 | 第31-38页 |
| ·灵敏度 | 第31-32页 |
| ·机械噪声 | 第32-33页 |
| ·电路噪声 | 第33页 |
| ·分辨率 | 第33-34页 |
| ·有限元分析 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 加速度传感器的Matlab建模和仿真 | 第39-56页 |
| ·加速度传感器的Matlab开环建模 | 第39-43页 |
| ·Matlab软件简介 | 第39页 |
| ·加速度传感器的Matlab开环建模 | 第39-43页 |
| ·加速度传感器的开环性能仿真 | 第43-47页 |
| ·不同初始检测电容下传感器的机械噪声及位移响应 | 第43-44页 |
| ·边缘效应对传感器效应的影响 | 第44-45页 |
| ·空气阻尼对传感器响应的影响 | 第45-47页 |
| ·加速度传感器的Matlab闭环建模与仿真 | 第47-50页 |
| ·开环和闭环仿真结果的对比分析 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第4章 加速度传感器设计及其三维惯性组合研究 | 第56-70页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第56-57页 |
| ·加速度传感器的版图设计 | 第57-59页 |
| ·加速度传感器的工艺设计 | 第59-63页 |
| ·加速度传感器的加工工艺 | 第59-61页 |
| ·加速度传感器的工艺流程 | 第61-62页 |
| ·加速度传感器件的制作与初步测试 | 第62-63页 |
| ·三维惯性组合对准研究 | 第63-68页 |
| ·加速度传感器三维惯性组合安装对准误差 | 第63-64页 |
| ·基于光对准的三维传感器安装误差补偿方法 | 第64-67页 |
| ·非对准补偿定理 | 第67页 |
| ·举例验证 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第5章 加速度传感器接口检测电路 | 第70-83页 |
| ·检测电路的总体方案 | 第70页 |
| ·前置放大电路 | 第70-71页 |
| ·带通滤波及交流放大 | 第71-72页 |
| ·相敏检波电路 | 第72-74页 |
| ·乘法器检波原理 | 第73页 |
| ·由乘法器MC1596构成的检波电路 | 第73-74页 |
| ·低通滤波电路 | 第74-75页 |
| ·接口检测电路总图 | 第75-76页 |
| ·电路仿真及实验结果 | 第76-82页 |
| ·运算放大器的选择 | 第77页 |
| ·电路仿真 | 第77-80页 |
| ·实验结果 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 总结 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 附录 作者在读期间发表的学术论文、发明专利及参加的科研项目 | 第90页 |
| 发表的学术论文 | 第90页 |
| 参加的科研项目 | 第90页 |