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硅基SnO2异质结器件的电致发光及其增强策略的研究

摘要第1-7页
Abstract第7-8页
目录第8-11页
第一章 绪论第11-13页
第二章 文献综述第13-31页
   ·引言第13页
   ·SnO_2的基本物理性质第13-20页
     ·SnO_2的晶体结构分析第15-16页
     ·SnO_2的能带结构分析第16-17页
     ·SnO_2的电学性质第17-18页
     ·SnO_2的光学性质第18-20页
     ·SnO_2的其他特性第20页
   ·SnO_2薄膜的制备方法第20-22页
     ·溶胶凝胶法第21页
     ·溅射法第21页
     ·脉冲激光沉积法第21-22页
   ·SnO_2发光特性的研究进展第22-30页
     ·SnO_2光致发光最新研究进展第22-25页
     ·SnO_2电致发光器件的研究进展第25-30页
   ·小结第30-31页
第三章 材料制备技术与测试方法第31-37页
   ·材料生长、器件制备设备第31-33页
     ·射频溅射设备第31页
     ·薄膜热处理设备第31页
     ·直流磁控溅射设备第31-32页
     ·脉冲激光沉积设备第32-33页
   ·材料、器件测试设备第33-37页
     ·X射线衍射仪第33页
     ·扫描电子显微镜第33页
     ·原子力显微镜第33-34页
     ·X射线光电子能谱仪第34页
     ·器件电学性能测试设备第34页
     ·霍尔效应测试设备第34页
     ·光吸收谱测量仪第34页
     ·室温光致发光/电致发光测试系统第34-37页
第四章 SnO_2/p~+-Si异质结器件的电致发光第37-53页
   ·引言第37页
   ·异质结器件的制备与结构第37-39页
   ·基于不同热处理气氛下(O_2气氛)的SnO_2/p~+-Si电致发光器件第39-45页
     ·SnO_2薄膜的表征第39-42页
     ·SnO_2/p~+-Si异质结器件的表征及电致发光第42-45页
   ·基于不同热处理气氛下(Ar气氛)的SnO_2/p~+-Si电致发光器件第45-50页
     ·Ar气氛下处理的SnO_2薄膜的表征第45-48页
     ·Ar气氛下SnO_2/p~+-Si异质结器件的表征及电致发光第48-50页
   ·SnO_2/p~+-Si异质结器件的发光机理探讨第50-51页
   ·本章小结第51-53页
第五章 利用TiO_2盖层增强SnO_2/p~+-Si异质结的电致发光第53-65页
   ·引言第53页
   ·SnO_2/p~+-Si异质结器件结构与制备第53-55页
   ·基于O_2气氛热处理的TiO_2/SnO_2/p~+-Si电致发光器件第55-59页
     ·有TiO_2盖层下的SnO_2薄膜的表征第55-56页
     ·TiO_2/SnO_2/p~+-Si电致发光器件表征及电致发光第56-58页
     ·SnO_2/p~+-Si电致发光机理解释及TiO_2/SnO_2/p~+-Si器件增强EL机理探讨第58-59页
   ·基于Ar气氛热处理的TiO_2/SnO_2/p~+-Si电致发光器件第59-63页
     ·有TiO_2盖层下的SnO_2薄膜的表征第59-60页
     ·TiO_2/SnO_2/p~+-Si电致发光器件表征及电致发光第60-62页
     ·TiO_2/SnO_2/p~+-SiEL强机理解释第62-63页
   ·本章小结第63-65页
第六章 AZO透明电极在SnO_2/p~+-Si异质结器件上的应用第65-81页
   ·引言第65-66页
   ·AZO电极制备第66页
   ·射频溅射法制备的AZO电极表征第66-74页
     ·不同衬底温度对AZO薄膜性能的影响第66-70页
     ·不同生长气压对AZO薄膜性能的影响第70-72页
     ·后期热处理对AZO薄膜光电性能的影响第72-74页
   ·PLD法制备AZO薄膜的光电性能第74-77页
   ·AZO薄膜应用于SnO_2/p~+-Si异质结器件的电致发光第77-79页
     ·SnO_2/p~+-Si器件AZO电极应用结构第77页
     ·AZO电极应用的器件的I-V测试第77-78页
     ·AZO电极应用的SnO_2器件的电致发光第78-79页
   ·小结第79-81页
第七章 总结第81-83页
参考文献第83-89页
致谢第89-91页
个人简历第91-93页
攻读学位期间发表的学术论文第93页

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