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扫描电机运动特性参数的非接触测试计量技术研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-12页
第一章 绪论第12-19页
   ·课题的研究背景及意义第12-13页
   ·扫描电机特性测试方法的国内外研究状况第13-17页
   ·本课题研究的主要内容第17-19页
第二章 扫描电机特性参数测试原理第19-27页
   ·扫描电机结构第19-20页
   ·扫描电机的工作特性第20-23页
     ·电机的工作波形第20-21页
     ·伺服电路接口信号第21-22页
     ·电机特性参数分析第22-23页
   ·电机特性参数测试原理第23-26页
     ·线性段参数的测试原理第23-25页
     ·电机转轴与镜面不平行度的测试原理第25-26页
   ·本章小节第26-27页
第三章 测试系统的总体架构第27-36页
   ·测试系统光路设计第27-29页
     ·线性段参数测试光路第28页
     ·零位重复性测试光路第28页
     ·转轴与反射镜面不平行度测试光路第28-29页
   ·校准系统设计第29-31页
     ·高分辨率角位移控制第29-30页
     ·磁栅测试结构第30-31页
   ·测试系统控制硬件第31-35页
     ·组合台构成第32-34页
     ·I/O 信号的采集配置第34-35页
   ·本章小结第35-36页
第四章 测试系统传感器设计与分析第36-49页
   ·光电位置传感器第36-45页
     ·光电位置传感器的工作原理第36-39页
     ·PSD 传感器的信号处理电路设计第39-42页
     ·PSD 传感器的转角标定第42-45页
   ·磁栅传感器第45-48页
     ·磁栅传感器的工作原理第45-47页
     ·MB100 磁栅尺的温度影响第47-48页
   ·本章小结第48-49页
第五章 测试软件设计第49-67页
   ·软件结构和功能第49-50页
     ·开发平台 C++ Builder第49-50页
     ·测试系统软件的结构第50页
   ·基本测控模块实现第50-56页
     ·A/D 转换模块第50-52页
     ·组合台控制模块第52-56页
     ·磁栅检测模块第56页
   ·标定模块第56-58页
     ·零位校正第56-57页
     ·转角-位移标定第57-58页
   ·检测模块第58-62页
     ·电机镜面对焦模块第58-61页
     ·检测电机镜面反射光线第61-62页
   ·数据处理和报告第62-66页
     ·数据滤波第62-66页
   ·本章小结第66-67页
第六章 测试系统的参数计算与计量第67-77页
   ·测试系统的参数计算第67-72页
     ·扫描电机参数的计算方法第67-71页
     ·扫描电机参数的计算结果第71-72页
     ·扫描电机参数的不确定度的计算和分析第72页
   ·扫描电机参数计量第72-76页
     ·测试扫描电机大量程转角的计量第73-75页
     ·测试扫描电机零位重复性的计量第75-76页
     ·测试扫描电机频率的计量第76页
     ·测试扫描电机不平行度的计量第76页
   ·本章小结第76-77页
第七章 总结与展望第77-79页
   ·课题总结第77页
   ·课题展望第77-79页
参考文献第79-82页
致谢第82-83页
在学期间发表论文和科研成果第83页

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