| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 引言 | 第9-28页 |
| ·ZnO薄膜的基本特性 | 第9-14页 |
| ·ZnO薄膜的研究历史与现状 | 第14-22页 |
| ·ZnO器件的应用前景 | 第22-25页 |
| ·ZnO器件研究所面临的问题 | 第25-26页 |
| ·主要内容及创新点 | 第26-28页 |
| 2 脉冲激光沉积法制备ZnO/Si薄膜的原理与工艺 | 第28-46页 |
| ·PLD法制备薄膜的特点 | 第28页 |
| ·PLD法制备薄膜的原理及设备 | 第28-32页 |
| ·PLD法制备薄膜的工艺 | 第32-38页 |
| ·飞秒激光沉积制备大面积均匀薄膜 | 第38-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 3 ZnO/Si薄膜的结构特性 | 第46-61页 |
| ·薄膜的晶体结构分析方法概述 | 第46-50页 |
| ·工艺参数对ZnO/Si薄膜结构的影响 | 第50-56页 |
| ·纳秒与飞秒激光沉积ZnO/Si薄膜的结构特性比较 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 4 ZnO/Si薄膜的形貌特征 | 第61-74页 |
| ·FESEM形貌分析原理 | 第61-62页 |
| ·工艺参数对薄膜形貌的影响 | 第62-67页 |
| ·飞秒激光制备ZnO/Si纳米薄膜 | 第67-69页 |
| ·纳秒与飞秒激光沉积ZnO/Si薄膜的形貌特性比较 | 第69-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 5 ZnO/Si薄膜的光学性能 | 第74-93页 |
| ·薄膜的光学性能分析方法概述 | 第74-83页 |
| ·工艺参数对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第83-89页 |
| ·纳秒与飞秒激光沉积ZnO薄膜的光学性能比较 | 第89-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 6 全文总结与展望 | 第93-96页 |
| ·全文总结 | 第93-95页 |
| ·后续工作及展望 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-109页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的论文 | 第109-110页 |
| 附录2 攻读学位期间参与的科研项目 | 第110页 |
