| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-10页 |
| 1 引言 | 第10-17页 |
| ·光罩数据制备流程(MDP)简介 | 第10-12页 |
| ·光罩数据制备流程面临的挑战 | 第12-15页 |
| ·本文研究内容与意义 | 第15-17页 |
| 2 传统的数据格式(GDSII) | 第17-22页 |
| ·集成电路版图的数据格式 | 第17页 |
| ·GDSII 的发展历史 | 第17页 |
| ·GDSII 的数据结构 | 第17-21页 |
| ·GDSII 图形描述与记录数据分析 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 OASIS 数据格式 | 第22-27页 |
| ·OASIS 数据格式的简介 | 第22-23页 |
| ·OASIS 格式的数据结构 | 第23-24页 |
| ·OASIS 图形描述与记录数据分析 | 第24-25页 |
| ·OASIS 与 GDSII 格式的比较 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 4 光罩数据格式转换的对比研究 | 第27-41页 |
| ·背景介绍 | 第27页 |
| ·实验步骤 | 第27-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 分辨率增强技术（RET）与图形分解（FRACTURE）的整合 | 第41-50页 |
| ·分辨率增强技术（RET） | 第41-43页 |
| ·分辨率增强技术必需的技术条件 | 第43页 |
| ·图形分解（FRACTURE） | 第43页 |
| ·图形分解的技术条件 | 第43页 |
| ·分辨率增强技术（RET）与图形分解（FRACTURE）数据处理流程 | 第43-45页 |
| ·分辨率增强技术（RET）与图形分解（FRACTURE）的整合 | 第45-46页 |
| ·分辨率增强技术（RET）与图形分解（FRACTURE）的整合必需的技术条件 | 第46页 |
| ·分辨率增强技术（RET）与图形分解（FRACTURE）的整合的实验 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 6 光罩可制造性规则检查的研究 | 第50-59页 |
| ·背景介绍 | 第50页 |
| ·光罩可制造性规则 | 第50-51页 |
| ·光罩可制造性规则检查方法必需的技术条件 | 第51-52页 |
| ·光罩可制造性规则检查自动系统的构成 | 第52-54页 |
| ·光罩 MRC 的对比实验结果分析与讨论 | 第54-58页 |
| ·问题和进一步的研究 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 7 基于 OASIS 的光罩处理流程的建立 | 第59-63页 |
| ·目前的光罩数据处理流程 | 第59页 |
| ·目前的光罩数据处理流程的缺陷 | 第59-60页 |
| ·基于 OASIS 的光罩数据处理流程 | 第60-61页 |
| ·基于 OASIS 的光罩数据处理流程的优越性 | 第61-63页 |
| 8 结论与展望 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66-69页 |
| 附录 1 | 第66-68页 |
| 附录 2 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第70-71页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第71-73页 |
