微/纳结构牺牲层腐蚀及其模型研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 符号列表 | 第8-12页 |
| 插图列表 | 第12-16页 |
| 表格列表 | 第16-20页 |
| 第一章 序论 | 第20-37页 |
| ·牺牲层腐蚀技术 | 第20-21页 |
| ·牺牲层腐蚀技术研究现状 | 第21-35页 |
| ·牺牲层腐蚀机理研究现状 | 第21-25页 |
| ·形成硅烷醇结构 | 第21-23页 |
| ·HF与硅烷醇的反应 | 第23-25页 |
| ·影响牺牲层腐蚀速率因素研究现状 | 第25-30页 |
| ·腐蚀液浓度 | 第25-26页 |
| ·牺牲层材料 | 第26-28页 |
| ·腐蚀温度 | 第28页 |
| ·退火处理 | 第28页 |
| ·牺牲层图形 | 第28-30页 |
| ·牺牲层腐蚀通量模型的研究现状 | 第30-35页 |
| ·Deal-Grove牺牲层腐蚀模型 | 第30-31页 |
| ·Freundlich吸附等温线模型 | 第31页 |
| ·Langmuir-Hinshelwood模型 | 第31-32页 |
| ·Power-Law模型 | 第32页 |
| ·一、二阶混合模型 | 第32-35页 |
| ·纳米量级下牺牲层腐蚀研究现状 | 第35页 |
| ·论文主要研究内容 | 第35-37页 |
| 第二章 简单结构牺牲层腐蚀模型研究 | 第37-54页 |
| ·一维牺牲层腐蚀修正模型 | 第38-42页 |
| ·扩散系数的修正 | 第38-41页 |
| ·腐蚀速率常数的修正 | 第41-42页 |
| ·简单结构一维牺牲层腐蚀实验研究 | 第42-53页 |
| ·样品加工工艺 | 第42-43页 |
| ·实验原理 | 第43页 |
| ·实验结果和讨论 | 第43-53页 |
| ·Port结构实验研究 | 第43-49页 |
| ·Bubble结构实验研究 | 第49-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 第三章 组合沟道结构牺牲层腐蚀模型研究 | 第54-68页 |
| ·组合沟道结构牺牲层腐蚀模型 | 第55-61页 |
| ·组合结构牺牲层腐蚀实验研究 | 第61-66页 |
| ·腐蚀参数的确定 | 第61-62页 |
| ·由窄到宽结构腐蚀实验研究 | 第62-65页 |
| ·由宽到窄结构腐蚀实验研究 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-68页 |
| 第四章 纳米厚度牺牲层腐蚀研究 | 第68-76页 |
| ·样品的生长工艺及腐蚀参数的确定 | 第68-69页 |
| ·纳米厚度下牺牲层腐蚀速率实验研究 | 第69-74页 |
| ·纳米厚度下牺牲层腐蚀过程 | 第69-71页 |
| ·双电层效应 | 第71-74页 |
| ·双电层效应简介 | 第71-72页 |
| ·双电层效应的特征量—Debye长度 | 第72-74页 |
| ·双电层效应对纳米量级牺牲层腐蚀速率的影响 | 第74-75页 |
| ·小结 | 第75-76页 |
| 第五章 影响纳流体流动特性因素研究 | 第76-87页 |
| ·纳米沟道的加工 | 第77-79页 |
| ·影响纳流体流动特性因素研究 | 第79-85页 |
| ·实验装置的建立 | 第79-80页 |
| ·微纳流体流动特性比较研究 | 第80-85页 |
| ·小结 | 第85-87页 |
| 第六章 总结 | 第87-90页 |
| ·本文主要结论 | 第87-88页 |
| ·今后工作展望 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-102页 |
| 致谢 | 第102-104页 |
| 附录1 牺牲层腐蚀程序算法研究 | 第104-115页 |
| 附录2 牺牲层仿真软件的界面和使用方法 | 第115-121页 |
| 攻读博士学位期间已发表(录用)的论文 | 第121-123页 |
| 攻读博士学位期间所获的奖项和所得的荣誉 | 第123-124页 |
| 攻读博士学位期间参与的项目 | 第124页 |
