气体漩涡式硅片夹持输送系统的设计
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·半导体产业的发展与现状 | 第10-13页 |
| ·半导体产业发展历史 | 第10-11页 |
| ·半导体硅片的现代化应用 | 第11-12页 |
| ·半导体产业国内外发展现状 | 第12-13页 |
| ·硅片夹持装置的发展状况和趋势 | 第13-17页 |
| ·硅片夹持的种类 | 第13-17页 |
| ·漩涡夹持的优势及需要解决的问题 | 第17页 |
| ·课题研究的意义 | 第17-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 2 气体漩涡夹持器的理论研究 | 第20-29页 |
| ·流体力学理论概述 | 第20-23页 |
| ·漩涡运动理论 | 第20-23页 |
| ·流体的流动状态种类 | 第23页 |
| ·气体漩涡吸盘理论研究 | 第23-28页 |
| ·气体漩涡吸盘工作机理 | 第24页 |
| ·实际漩涡的理论分析 | 第24-25页 |
| ·理想情况下硅片的受力分析 | 第25-27页 |
| ·吸盘的结构对漩涡强度的影响 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 漩涡吸盘的实验研究及其结构的设计优化 | 第29-45页 |
| ·实验方案设计 | 第29-31页 |
| ·压力分布实验 | 第31-33页 |
| ·外部条件对吸盘夹持力的影响 | 第33-36页 |
| ·夹持力F与距离l的关系 | 第33-35页 |
| ·进气压强对夹持力F的影响 | 第35-36页 |
| ·吸盘结构尺寸对夹持力的影响 | 第36-39页 |
| ·气腔高度h对夹持力的影响 | 第36-38页 |
| ·内腔半径R对夹持力F的影响 | 第38-39页 |
| ·其它机构参数对夹持力F的影响 | 第39页 |
| ·优化后吸盘的实验研究 | 第39-43页 |
| ·夹持力F的测量分析 | 第39-42页 |
| ·压力分布情况分析 | 第42-43页 |
| ·削弱扭矩作用的特殊结构吸盘 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 集成吸盘的研究与设计 | 第45-51页 |
| ·集成吸盘夹持的可行性分析 | 第45-47页 |
| ·集成吸盘的实验研究 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 5 硅片输送系统的设计 | 第51-63页 |
| ·输送系统的组成部分 | 第51-56页 |
| ·气流传动模块 | 第51-54页 |
| ·PLC控制模块 | 第54-55页 |
| ·吸盘夹持模块 | 第55页 |
| ·其它设施 | 第55-56页 |
| ·硅片输送系统的设计 | 第56-62页 |
| ·输送系统实现的功能 | 第56-57页 |
| ·PLC程序设计 | 第57-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 6 工作总结与展望 | 第63-65页 |
| ·工作总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 作者简历 | 第68页 |
