探针台运动控制及晶圆定位对准技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-12页 |
| 1.1.1 探针测试系统组成 | 第9-11页 |
| 1.1.2 探针测试原理 | 第11-12页 |
| 1.2 本课题研究的内容及意义 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外相关技术发展现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 探针台系统的国内外发展现状 | 第13页 |
| 1.3.2 运动控制系统发展现状 | 第13-14页 |
| 1.3.3 视觉定位系统发展现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本文结构 | 第15-16页 |
| 第2章 运动控制卡方案及硬件设计 | 第16-24页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 总体方案设计 | 第16-18页 |
| 2.2.1 功能需求 | 第16页 |
| 2.2.2 硬件方案设计 | 第16-17页 |
| 2.2.3 软件方案设计 | 第17-18页 |
| 2.3 脉冲输出电路 | 第18页 |
| 2.4 编码器及手轮信号输入电路 | 第18-19页 |
| 2.5 I/O信号 | 第19页 |
| 2.6 通信接口电路 | 第19-21页 |
| 2.6.1 PCI接口芯片 | 第20页 |
| 2.6.2 PCB板电气要求 | 第20-21页 |
| 2.6.3 EEPROM的选择 | 第21页 |
| 2.7 供电系统电路 | 第21-22页 |
| 2.8 FPGA配置电路设计 | 第22-23页 |
| 2.9 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 运动控制算法及软件开发 | 第24-45页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 NIOS程序设计 | 第24-28页 |
| 3.2.1 NIOS II处理器介绍 | 第24-25页 |
| 3.2.2 Avalon总线读写时序 | 第25-27页 |
| 3.2.3 NIOS软件开发 | 第27-28页 |
| 3.3 加减速算法 | 第28-31页 |
| 3.4 插补算法 | 第31-36页 |
| 3.4.1 粗插补算法 | 第31-32页 |
| 3.4.2 精插补算法 | 第32-33页 |
| 3.4.3 精插补模块设计 | 第33-36页 |
| 3.5 脉冲计数 | 第36-38页 |
| 3.6 I/O模块 | 第38页 |
| 3.7 PCI接口模块 | 第38-43页 |
| 3.7.1 PCI总线特性 | 第38-39页 |
| 3.7.2 PCI9054 介绍 | 第39-40页 |
| 3.7.3 本地总线上的数据传输 | 第40-41页 |
| 3.7.4 PCI通信模块 | 第41-43页 |
| 3.8 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 上位机程序开发与板卡测试 | 第45-54页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 驱动开发 | 第45-48页 |
| 4.2.1 驱动开发工具选择 | 第45-46页 |
| 4.2.2 驱动结构 | 第46-47页 |
| 4.2.3 内存以及I/O读写 | 第47页 |
| 4.2.4 中断处理 | 第47-48页 |
| 4.3 上位机软件设计 | 第48-50页 |
| 4.3.1 运动控制函数封装 | 第48-49页 |
| 4.3.2 板卡测试程序 | 第49-50页 |
| 4.4 板卡测试 | 第50-53页 |
| 4.4.1 加减速实验 | 第50-51页 |
| 4.4.2 插补实验 | 第51页 |
| 4.4.3 脉冲输出速率 | 第51-52页 |
| 4.4.4 总体评估 | 第52-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 晶圆机器视觉定位对准算法研究 | 第54-65页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 晶圆中心检测 | 第54-59页 |
| 5.2.1 边缘提取算法 | 第55-56页 |
| 5.2.2 图像二值化 | 第56页 |
| 5.2.3 图像腐蚀滤波 | 第56-58页 |
| 5.2.4 提取边缘 | 第58页 |
| 5.2.5 精度测试 | 第58-59页 |
| 5.3 晶粒模板匹配与晶圆扫直 | 第59-63页 |
| 5.3.1 模板匹配算法 | 第59-61页 |
| 5.3.2 快速模板匹配算法 | 第61-62页 |
| 5.3.3 模板匹配验证 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
